7. Hardware-Validierung
AKZEPTANZKRITERIUM: Sowohl für die Anregungsseite als auch für die
Wenn ein Systemcontroller oder LCsolution verwendet wird, führen Sie folgenden Vorgang aus, bevor Sie die
Probe analysieren.
Wenn der Systemcontroller angeschlossen ist:
1
Schalten Sie den Systemcontroller aus.
2
Stellen Sie [0] für [LOCAL] in der Gruppe der Systemeinstellungen ein.
3
Starten Sie den Systemcontroller neu.
Wenn LCsolution verwendet wird:
1
Beenden Sie LCsolution.
2
Schalten Sie den Systemcontroller aus.
3
Stellen Sie [0] für [LOCAL] in der Gruppe der Systemeinstellungen ein.
4
Nachdem Sie den Systemcontroller neu gestartet haben, starten Sie LCsolution.
Hinweis
Wird ein Systemcontroller oder LCsolution verwendet, stellen Sie vor Start der Analyse unbedingt [0] für
[LOCAL] in der Gruppe der Systemeinstellungen ein und starten Sie dann den Systemcontroller und
LCsolution neu.
7-18
Emissionsseite
Wellenlängengenauigkeit bei 254 nm:
Innerhalb von ± 2,0 nm
Wellenlängengenauigkeit bei 507 nm:
Innerhalb von ± 2,0 nm
RF-20A/20Axs