7. Hardware-Validierung
• Wenn sie normal ist:
Liegt die Wellenlängendifferenz innerhalb der
Standardwerte, werden [CHECK GOOD] und die
gemessenen Werte für jeden Punkt abwechselnd
in Abständen von 2 Sekunden angezeigt.
7-16
[EX CHECK]
EX CHECK
CHECK GOOD
EX CHECK
ExDif254: 0.7nm
EX CHECK
ExDif507: 0.2nm
RF-20A/20Axs