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Betriebsanleitung
Anschluss der Vorvakuumpumpe
Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann
über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein
starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen
Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.
TwisTorr 305 FSQ & 305 SF zeichnet sich durch sein hohes Verdichtungsverhältnis
HINWEIS
auch für Öldämpfe aus. Bei Verwendung einer mechanisch ölgedichteten Pumpe ist
es ratsam, zwischen der Turbopumpe und der Vorvakuumpumpe einen geeigneten
Abscheider anzubringen, um ein Zurückströmen von Öl oder Partikeln aus trockenen
Pumpen zu verhindern.
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Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual
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