Agilent TwisTorr 305 FSQ Benutzerhandbuch Seite 126

使用说明
前真空泵的连接
应使用 TwisTorr 305 FSQ & 305 SF 上提供的 KF 16 NW 法兰进行前级连接。与前级
泵的连接可以通过真空额定软管或管道进行。如果使用刚性管道，则必须使用波纹
管来抑制机械泵产生的任何振动。
的特点是它对油蒸气的高压缩比。使用机械油封泵时，
注意
建议在涡轮泵和前真空泵之间安装合适的疏水阀，以防止干泵的机油或颗粒回
流。
126 Agilent TwisTorr 305 FSQ & 305 SF User Manual