Relyon plasma piezobrush PZ3 Betriebsanleitung Seite 41

Achtung – Geräteschaden!
Das Gerät kann beschädigt werden, wenn es ohne Luftzufuhr betrieben wird.
Hierdurch würde der im Betrieb nötige Zufluss des Kühlmediums unterbrochen werden.
Bedecken Sie auf keinen Fall den Lufteinlass und den Düsenaustritt während des
Betriebs.
Das Gerät kann beschädigt werden, wenn sich elektrisch leitfähige Gegenstände näher
als 60 mm im Bereich des vorderen Drittels des Gerätes befinden.
Ausnahme: Substrate vor dem Wechselmodul bei Einsatz von dafür vorgesehenen
Modulen, z.B. Modul „Nearfield".
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Hinweis!
Unter Umständen können die von dem Gerät erzeugten elektrischen Felder empfindliche
elektronische Bauteile schädigen. Stellen Sie sicher, dass die Bauteile Ihrer Anwendung
durch den Plasmaprozess nicht beeinträchtigt werden.
BA-PZ3_ML / F0354401 41