Inhaltsverzeichnis
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4. 仕様
項目
有効長
全長
最大可動長
精度 (20 °Cにて)
原点精度
もどり誤差
繰返し精度
温度係数
光源
検出方式
使用温度範囲
保存温度範囲
付属品
スケール有効長
取扱説明書
六角穴付ボルト (M3 × 8)
六角穴付ボルト (M3 × 30)
六角穴付ボルト (M4 × 8)
ワッシャ (呼び3)
ワッシャ (呼び4)
基準プレート
スペーサ
スケールクランプ
ケーブルクランプ
小ねじ (M4 × 8)
精度表
原点マスクラベル (R/RS)
梱包内容
検出ヘッド
スケール
付属品一式
18
(J)
性能・機能
10 (N, NSのみ), 40, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 mm
58 mm (有効長10 mm : 片持ちタイプ)
有効長 +26 mm (有効長40∼420 mm)
有効長 +2 mm (有効長10 mm : 片持ちタイプ)
有効長 +10 mm (有効長40∼420 mm)
NS/RS
有効長 10 mm
40 mm
70/120 mm
170/220 mm
270 mm
320 mm
370 mm
420 mm
N/R
有効長 10 mm
40 mm
70/120 mm
170/220 mm
270/320/370 mm
420 mm
±0.1 µm (R/RS)
原理的にありません。ご使用デテクタの2分解能以下とお考えください。
原理的にありません。ご使用デテクタの1分解能以下とお考えください。
−0.7 × 10
−6
/°C
半導体レーザ 790 nm
回析格子走査型格子干渉計
+10∼+30 °C (結露不可)
−10∼+50 °C (湿度60 %以下)
10
40
70
120
1
1
1
1
−
−
−
2
2
2
2
2
−
4
6
8
4
2
2
2
−
4
6
8
−
1
1
1
−
−
−
2
−
1
2
3
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
−
5
5
5
1
1
1
±0.03 µm以下
±0.04 µm以下
±0.10 µm以下
±0.18 µm以下
±0.25 µm以下
±0.34 µm以下
±0.39 µm以下
±0.44 µm以下
±0.06 µm以下
±0.08 µm以下
±0.20 µm以下
±0.35 µm以下
±0.50 µm以下
±0.65 µm以下
170
220
270
320
1
1
1
1
−
−
−
−
2
2
2
2
8
8
10
10
2
2
2
2
8
8
10
10
1
1
1
1
2
2
2
2
3
3
4
4
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
5
5
10
10
370
420
1
1
−
−
2
2
12
12
2
2
12
12
1
1
4
4
5
5
1
1
1
1
1
1
10
10
BS78
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