Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. Laserscale Anleitungen
  4. Messgeräte
  5. BS78
  6. Bedienungsanleitung

Laserscale BS78 Bedienungsanleitung

Massstabseinheit
Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Verfügbare Sprachen

Verfügbare Sprachen

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
スケールユニット / Scale Unit / Maßstabseinheit
BS78
お買い上げいただき、ありがとうございます。
ご使用の前に、この取扱説明書を必ずお読みください。
ご使用に際しては、この取扱説明書どおりお使いください。
お読みになった後は、後日お役に立つこともございますので、必ず保管してください。
Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them.
Keep the manual for future references.
Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim
Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum
späferen Nachlesen griffbereit auf.
レーザスケール / LASERSCALE / LASERSCALE
取扱説明書 / Instruction Manual / Bedienungsanleitung

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Verwandte Anleitungen für Laserscale BS78

Inhaltszusammenfassung für Laserscale BS78

  • Seite 1 Keep the manual for future references. Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Geräts den Anweisungen. Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum späferen Nachlesen griffbereit auf. レーザスケール / LASERSCALE / LASERSCALE 取扱説明書 / Instruction Manual / Bedienungsanleitung...
  • Seite 3 安全のために 当社の製品は安全に充分配慮して設計されています。しかし、操作や設置時にまちがっ た取扱いをすると、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故につながることが あり、危険です。また、機械の性能を落としてしまうこともあります。 これらの事故を未然に防ぐために、安全のための注意事項は必ず守ってください。操作 や設置、保守、点検、修理などを行う前に、この 「安全のために」 を必ずお読みください。 警告表示の意味 このマニュアルでは、次のような表示をしています。表示内容をよく理解してから本文 をお読みください。 警告 この表示の注意事項を守らないと、火災や感電などにより死亡や大ケガなど人身事故に つながることがあります。 注意 この表示の注意事項を守らないと、感電やその他事故によりケガをしたり周辺の物品に 損害を与えることがあります。 BS78...
  • Seite 4 光が漏れる可能性がありますので、通電時にスケール挿入部分を覗き込まないでくだ さい。また、スケール以外のものを差し込むことは絶対に行なわないでください。 · 本装置は以下の規格、基準に適合しています。 日本工業規格 : JIS C6802 レーザ製品の安全基準に適合しています。 CDRH規定 米国食品医薬品局CDRH (Center for Devices and Radiological Health) のレーザ製品に 関する規定 (1976年8月1日施行) に適合しています。 米国内で販売される製品はこの規準に適合する必要があります。 国際規格 EN60825-1を含む該当する安全基準に適合しています。 クラス1レーザ製品 CLASS 1 LASER PRODUCT CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 BS78...
  • Seite 5 さい。故障の原因となります。 · スケールユニットのコネクタとデテクタのレセプタクルを完全に接続し，ネジで固定してから電源スイッチを ONにしてください。 また，電源をONしたままコネクタを抜き差ししないでください。 · ケーブルを強く引いたり，無理に曲げてのご使用は避けてください。{曲げ半径 50 mm (内側) 以上} · 電源投入後10分位経過しますと，検出ヘッド部の温度が安定状態となります。その後にご使用ください。 · 本品は精密測定器のため，過度の衝撃が加わらないよう取扱いには十分注意してください。また，輸送すると きは必ず製品購入時と同じ包装形態でお願いします。 スケール変色についてのご注意 光がスケールに長時間照射されるとスケールが変色する場合があります。 • ヘッドから照射されるレーザ光が長時間同じ位置に照射された際にスケールが白く変色(色抜け)することがあ りますが、機能・性能に影響はありません。 • スケールに紫外線等が長時間照射されると黒く変色することがあります。この場合はスケール信号レベルに影 響がでる可能性があります。カバーなどを使用して、スケールに光が当たらないようにする等の対策をとって ください。 一般的注意事項 以下は当社製品を正しくお使いいただくための一般的注意事項です。個々の詳細な取扱上の注意は，本取扱説明 書に記述された諸事項および注意をうながしている説明事項に従い，正しくお使いください。 · 始業または操作時には，当社製品の機能および性能が正常に作動していることを確認してからご使用くださ い。 · 当社製品が万一故障した場合，各種の損害を防止するための十分な保全対策を施してご使用ください。 · 仕様に示された規格以外での使用または改造を施された製品については，機能および性能の保証はできません のでご留意ください。 · 当社製品を他の機器と組合せてご使用になる場合は，使用条件，環境等により，その機能および性能が満足さ れない場合がありますので，十分ご検討の上ご使用ください。 BS78...
  • Seite 6 Machine Directives EN 60204-1, measures should be taken to ensure conformance with those directives. Warnung Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1 geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu gewährleisten. BS78...

  • Seite 7: Inhaltsverzeichnis

    目次 1. 概要 ..................1 はじめに ........................1 1-1. 特長 ......................... 1 1-2. 型名について ....................1 1-3. BS78の構成と各部の名称 ................2 2. 取付け上の注意事項 ............3 2-1. 取付けにあたって ..................3 2-2. 取付け時に準備するもの ................3 2-3. 取付けの前に ....................4 2-3-1. 補正値について ................4 2-3-2.

  • Seite 9: はじめに

    1. 概要 はじめに BS78は高分解能のホログラムスケールを半導体レーザを用いた光学ヘッドで読み出す高精度、高 分解能スケールです。 1-1. 特長 · 光波干渉計を超える信号波長0.1379 µmの高分解能スケール。 · 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性。 · ±0.18 µm/220 mmの高精度。 · 完全非接触なので、原理的に戻り誤差が発生しません。 · 弊社デテクタと組み合わせることで、サブナノメートル (0.14 nm) の計測や位置決めができま す。 · 通常の光学スケールに比べ広い取付け許容値を持つため、取付けが大変簡単です。 1-2. 型名について 型名で有効長とスケールタイプを示します。 [例] BS78-220 N 有効長 N 原点なしノーマルタイプ NS 原点なし高精度タイプ 原点付ノーマルタイプ RS 原点付高精度タイプ BS78...

  • Seite 10: Bs78の構成と各部の名称

    1-3. BS78の構成と各部の名称 コネクタプラグ スケール 基準プレート 検出ヘッド 取付ねじ スケール クランプ ヘッドケーブル スペーサ ケーブルクランプ 補正値ラベル 補正値ラベル スケール (有効長40 mm以上) スケール (有効長10 mm) 図1-1 BS78...

  • Seite 11: 取付け上の注意事項

    · オシロスコープ ..........................1台 2現象 X-Y表示可能なもの 入力感度 : DC 0.1 V/DIV X-Y周波数帯域 : 1 MHz以上 工具 · 六角レンチ (呼び3, 呼び2) ......................各1本 · プラスドライバ (呼び1番) ....................... 1本 その他 · 付属品 ..............................1式 · ガーゼ ..............................少量 · アルコール ............................少量 BS78...

  • Seite 12: 取付けの前に

    / b × {1 + (23−20) × (−0.7 × 10 −6 0.1379 )} = 0.1379 20 °Cとの温度差 スケールの温度膨張係数 (18ページ参照) z x / b 温度補正後の補正値は となります。この値をセットしてください。 2-3-2. 補正値のセット方法 デテクタ (BD60/95シリーズ) 取扱説明書の「補正値の設定」の項をご覧ください。 注意 デテクタ (BD60シリーズ) の補正値は出荷時オールゼロが設定されています。この状態ではア ラームが出力されご使用になれません。必ずスケールの補正値を正しく設定してからご使用くだ さい。 また，補正のないデテクタの場合は，分解能の計算が必要ですので各デテクタの取扱説明書をご 覧ください。 BS78...

  • Seite 13: 取付け・調整方法

    3-3. 検出ヘッドの取付け ......................... 12 3-4. 信号調整 ............................. 13 3-4-1. 信号調整準備 ........................... 13 3-4-2. アジマス調整 ........................... 14 3-5. 取付け・調整終了 ..........................15 3-1. 取付面の準備 1. 取付面の範囲 (図中斜線部) と面精度を確認してください。 2. 取付けねじ座標の精度を確認してください。 3. BS78-N/NSタイプは、基本的に両面とも取付けができます。図中 ( ) 寸法は右出しケーブ ルの場合を示します。 R/RSタイプについては別途ご相談ください。 スケール取付面 粗さ (Rmax) 6.3S 平面度 0.01 mm以下...
  • Seite 14 9.8 ±0.2 (20.7 ±0.2) スケール取付面 0.03 38 ±0.2 検出ヘッド取付面 2-M3, 深6 検出ヘッド取付面 Rmax = 12.5S 単位 : mm 注) Mはマシンガイド (機械の走り) を示します。 図3-3 BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS 型名 L2 (±1) 148以上 BS78-120N/NS/R/RS BS78-170N/NS/R/RS 198以上 BS78-220N/NS/R/RS 248以上 8-M4, 深6 50 ±0.3 スケール取付面...
  • Seite 15 BS78-270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS 型名 298以上 BS78-270N/NS/R/RS 348以上 BS78-320N/NS/R/RS 10-M4, 深6 100 ±1 40 ±0.2 100 ±1 88 ±0.3 スケール取付面 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 (15) Rmax = 6.3S 0.01 0.01 9.8 ±0.2 (20.7 ±0.2) スケール取付面 0.03 38 ±0.2 検出ヘッド取付面...

  • Seite 16: スケールの取付け

    3-2-2. BS78-40N/NS/R/RS∼420N/NS/R/RS 取付面にほこり等が無いことを確認後，基準プレートを下図のようにマシンガイドに対し平 行に取付けます。 (締め付けトルク 1.4 N· m) 図中，左側が基準穴となっています。てこ式ダイヤルゲージで平行度の確認を行ないながら 右側で調整してください。 +0.05 基準 Ø4 0.01 注) Mはマシンガイド (機械の走り) を示します。 図3-8 注意 基準プレートはスケールを取付ける際の突き当て基準となり，スケール精度を再現する上で 重要なものです。付属のねじを使い、必ず仕様どおり取付けてください。 BS78-40N/NS/R/RS, 120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS × × ワッシャ ワッシャ (呼び4) (呼び4) 突き当て基準面 突き当て基準面 図3-9 BS78...
  • Seite 17 スケールクランプを図のように取付けねじを用い，がたがある程度 (仮締めから1∼2回転戻 す程度) にセットします。 BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS × × ワッシャ (呼び4) ワッシャ (呼び4) スケールクランプ スケールクランプ 基準プレート 基準プレート BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS 基準プレート スペーサ 図3-10 スケールの取付面および突当面にほこり， 汚れが無いことを確認してください。汚れがある 場合はアルコールを含ませたガーゼで 拭き取ってください。 取付面 突当面 図3-11 BS78...
  • Seite 18 スケールをスケールクランプと取付面の間に挿入し，突き当て基準面 (図3-9参照) に軽く押 し当てます (注意)。基準面に押し当てながら図に示すスケールクランプ (2個使いのものは左 側のスケールクランプのみ，3個使いのものは中央のスケールクランプのみ) の取付ねじをA →B→A･･･の順序で交互に少しずつ締め付けていきます。(最終締付けトルク 1.4 N· m) BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS 図3-12 注意 スケールを基準面に突き当てるときは，図3-13左のように基準面に対向するスケール端面を指で 軽く (9.8 N以下の力) 押さえてください。図3-13右のようにスケールの中央部を押さえる (4.9 N 以上の力) など，スケールに変形を加えたまま固定しますと所定の精度を得ることができません。 (以下の手順でもこの点に十分ご注意ください。万一強い曲げ力が加わったと思われる場合は， スケールクランプを緩め再度正しく取付けてください。) 良 不可 図3-13 BS78...
  • Seite 19 スケールを熱的に安定化させるために，図3-12の状態で1時間以上放置してください。 残りのスケールクランプ (2個使いのものは右側, 3個使いのものは左右のスケールクランプ) をA→B→A････の順序で交互に少しずつ締め付けます。 (最終締付トルク 1.4 N· m) BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS 図3-14 両端にスケールクランプを同様に締め付けます。(最終締め付けトルク 1.4 N･m) BS78-270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS スペーサ BS78-370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS スペーサ 図3-15 スケール面に油や塵挨の付着がないことを確認します。汚れがある場合は，アルコールを含 ませたガーゼで拭き取ります。このときスケールの表面に拭きムラが無いことを確認してく ださい。 BS78...

  • Seite 20: 検出ヘッドの取付け

    3-3. 検出ヘッドの取付け 取付ける機械のテーブルを移動させ，スケールのほぼ中央位置に検出ヘッドの取付け位置を 合わせます。 付属の取付ねじで検出ヘッドを仮止めします。 検出ヘッド取付ねじ × (六角穴付ボルトM3 スケール ワッシャ (呼び3) スケールクランプ スケール 基準プレート 検出ヘッド 検出ヘッド 図3-16 BS78...

  • Seite 21: 信号調整

    3-4. 信号調整 3-4-1. 信号調整準備 デテクタの電源がOFFになっていることを確認してください。 デテクタ (BDシリーズ) とスケールユニットBS78を接続します。 スケールユニットのコネクタプラグ保護キャップを取り外し，デテクタの HEAD INに接続 します。 注意 · コネクタはねじで固定してください。 · コネクタピンには絶対に手を触れないでください。静電気により内部の電気部品が壊れる 恐れがあります。輸送時などコネクタを接続しないときは，必ず保護キャップを取付けて ください。 · ヘッドコネクタの着脱は，必ずデテクタの電源を切ってから行なってください。 デテクタのシグナル調整部にオシロスコープのCH1プローブをS (SIN) とG (GND) に接続し ます。 オシロスコープのCH2プローブをC (COS) とG (GND) に接続します。 BS78とデテクタユニットBD15シリーズの接続の場合 デテクタ オシロスコープ BD15シリーズ シグナル調整部 SIG OUT 詳細図 プローブ CHECK コネクタプラグ...

  • Seite 22: アジマス調整

    3-4-2. アジマス調整 下図に示したような方向をアジマス方向と呼ぶことにします。検出ヘッドの向きを調整すると， 規定値 (振幅1.6 Vp-p) 以上の安定した出力信号を得ることができます。 アジマス方向 アジマス方向 図3-18 検出ヘッド取付ねじをゆるめます。 検出ヘッドを図3-18のように回転させ，リサージュの振幅が最大となる場所をみつけます。 リサージュの振幅が最大となる検出ヘッド位置で，検出ヘッド取付ねじを2本交互に徐々に締 め付けます。(締付トルク0.8 N· m) スケールと検出ヘッドが干渉していないこと、および図3-19に示す隙間が2 ±0.2 mmであるこ とを確認してください。 2 ±0.2 干渉の確認 検出ヘッド スケール 図3-19 スケールを移動させて全長に渡りリサージュの振幅A, B (図3-20参照) が1.6 Vp-p以上である ことを確認します。 注意 調整を繰返しても1.6 Vp-pの出力が得られない場合は，スケールと検出ヘッドの取付面精度 (参照 5∼7ページ)，およびスケール面上にゴミの付着がないか再度ご確認ください。 リサージュ BS78 図3-20...

  • Seite 23: 取付け・調整終了

    3-5. 取付け・調整終了 · ケーブルを付属のケーブルクランプと小ねじ (M4 × 8) で固定します。 · 締付け部の安定化とスケール周辺の熱的安定化をはかるため，本スケールによる計測は取付け 後3時間程度放置してから行なってください。 スケール × 小ねじ (M4 ケーブル クランプ 図3-21 BS78...

  • Seite 24: 内蔵原点について (R/Rs)

    て、スケールと検出ヘッドの相対的な移動方向で、原点検出を下図のとおり行なってください。 検出時、原点信号は立ち上がりとなります。 (逆方向で原点検出を行なうと原点精度が悪化します。) 標準仕様の場合 スケール 原点信号 検出ヘッド 図3-22 3-6-2. 原点マスク 原点の検出については、ドグを用いて検出する方法と、付属の原点マスクラベルにより、不必要 な原点をマスクする方法があります。原点をマスクする場合は、図3-23の手順でマスクラベルを 貼付けてください。 貼付方法 原点マスクラベル 1. スケールをアルコールで清浄します。 2. ピンセットで付属の原点マスクラベルを 台紙からはがします。 3. 機番ラベルの貼ってある面から不要の原 点パターンをおおいかくすように貼付け ます。 スケール 注意 このとき，スケール面に触れて指紋等を残 さないようにしてください。 図3-23 3-6-3. 原点検出時の速度変動 所定の再現精度 (±0.1 µm) を得るため，原点検出時の速度は一定にしてください。そのとき，速 度変動を0.2 mm/s以下におさえてください。 最大検出速度は，100 mm/sとなります。 BS78...

  • Seite 25: 原点位置

    3-6-4. 原点位置 原点位置は50 mmピッチとなります。各有効長における原点位置については、次のとおりです。 公差 ±1  単位 : mm 図3-24 原点位置の変更と真空使用時の原点数の削減は特殊仕様にて承ります。 BS78...
  • Seite 26 − − − − 六角穴付ボルト (M3 × 30) 六角穴付ボルト (M4 × 8) − ワッシャ (呼び3) − ワッシャ (呼び4) − 基準プレート − − − スペーサ − スケールクランプ ケーブルクランプ 小ねじ (M4 × 8) 精度表 − 原点マスクラベル (R/RS) 梱包内容 検出ヘッド スケール 付属品一式 BS78...

  • Seite 27: 外形寸法図

    5. 外形寸法図 BS78-10N/NS BS78...
  • Seite 28 ∗∗∗ BS78- N/NS (有効長40/120/170/220/370/420) BS78...
  • Seite 29 ∗∗∗ BS78- N/NS (有効長70/270/320) BS78...
  • Seite 30 ∗∗∗ BS78- R/RS (有効長40/120/170/220/370/420) BS78...
  • Seite 31 ∗∗∗ BS78- R/RS (有効長70/270/320) BS78...

  • Seite 33: Safety Precautions

    Failure to observe these precautions may lead to fire, electric shock or other accidents resulting in serious injury or death. Caution Failure to observe these precautions may lead to electric shock or other accidents resulting in injury or damage to surrounding objects. BS78...
  • Seite 34 Failure to do so may result in fire or accidents. • When turning on the power supply or other sources of drive power to operate the machine, take care not to catch your fingers in peripheral machines and devices. BS78...
  • Seite 35 259-1146, Japan MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT Magnescale Co., Ltd. ∗ ∗∗∗ ∗∗∗ ∗∗ CAUTION BS78 DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO ∗∗∗∗∗∗ Ser. No. QUALIFIED PERSONNEL. Magnescale Co., Ltd. MADE IN JAPAN ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CAPOT. LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE.
  • Seite 36 • Do not pull at the cable forcibly or bend it excessively. (Bending radius (inside): 50 mm or more) • Use the BS78 approximately 10 minutes after power is supplied to the unit, when the temperature of the detector head reaches a stable state.
  • Seite 37 Machine Directives EN 60204-1, measures should be taken to ensure conformance with those directives. Warnung Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1 geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu gewährleisten. BS78...
  • Seite 39 1. Overview ................1 Introduction ........................ 1 1-1. Features ......................1 1-2. Model Names ....................1 1-3. BS78 Configuration and Names of Parts ............2 2. Mounting Precautions ............3 2-1. When Mounting ....................3 2-2. Mounting Requirements .................. 3 2-3.

  • Seite 41: Overview

    1. Overview Introduction The BS78 is a high-precision, high-resolution scale that has an optical head with a semiconductor laser for reading a high-resolution hologram scale. 1-1. Features • High-resolution scale with signal wavelength of 0.1379 µm that out-performs light wave interferometer systems.

  • Seite 42: Bs78 Configuration And Names Of Parts

    1-3. BS78 Configuration and Names of Parts Connector plug Scale Reference plate Mounting screw Detector head Scale clamp Head cable Spacer Cable clamp Compensation value label Compensation value label Scale (measuring length: 10 mm) Scale (measuring length: 40 mm or more) Fig.

  • Seite 43: Mounting Precautions

    X-Y frequency band : 1 MHz or more Tools • Hexagonal wrenches: 3 mm/0.118", 2 mm/0.079" ............... (1 each) • Philips screwdriver No. 1 ........................(1) Miscellaneous • Accessories ............................(1 set) • Gauze ..........................(Small amount) • Alcohol ..........................(Small amount) BS78...

  • Seite 44: Before Mounting

    Be sure to set the detector to the correct compensation value of the scale before operation. In addition, the resolution must be calculated for detectors that do not perform compensation, so refer to the detector instruction manual. BS78...

  • Seite 45: Mounting And Adjustment

    1. Check the mounting surface range (the shaded sections in the figure) and accuracy. 2. Check the accuracy of the mounting screw coordinates. 3. The BS78-N/NS has been designed for mounting on either side. The dimensions shown in parentheses in the figure below illustrate the case when right-protruding cables are used. Contact Magnescale Co., Ltd.
  • Seite 46 2-M3 depth: 6 (0.24") 47 (1.850") Detector head mounting surface Rmax = 12.5S (500 µinch) Unit: mm (inch) Note: “M” refers to the machine guide. Fig. 3-3 BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS L2 (±1) (±0.04") Model BS78-120N/NS/R/RS 148 (5.83") or more 50 (1.969") BS78-170N/NS/R/RS 198 (7.80") or more...
  • Seite 47 BS78-270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS Model BS78-270N/NS/R/RS 298 (11.74") or more BS78-320N/NS/R/RS 348 (13.70") or more 40 ±0.2 (1.575" ±0.008") 100 ±1 (3.94" ±0.04") 100 ±1 (3.94" ±0.04") 10-M4 depth: 6 (0.24") 88 ±0.3 ±0.011") (3.465" 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 25 ±0.2 Scale mounting surface ±0.008")

  • Seite 48: Scale Mounting

    Note: “M” refers to the machine guide. Fig. 3-7 3-2-2. BS78-40N/NS/R/RS to 420N/NS/R/RS Check that there is no dust or other foreign substances on the mounting surface, and mount the reference plate parallel to the machine guide as shown in the figure. (Fastening torque: 1.4 N · m) The reference hole is located on the left, as shown in the figure.
  • Seite 49 Attach the scale clamps loosely (1 or 2 full turns looser than the semi-tightened position) by using the mounting screws, as shown in the figure. BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS × × Plain washer (nominal 4) Plain washer (nominal 4) Scale clamp...
  • Seite 50 A and B of the scale clamp indicated in the figure. (Use only the left-side scale clamp for clamps with two screws, and use the center scale clamp for clamps with three screws.) (Final fastening torque: 1.4 N · m) BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Fig. 3-12 When pressing the scale against the reference surface, lightly press two points on the edge of the scale surface opposite the reference surface with your fingers with a force of 9.8 N or less as shown in Fig.
  • Seite 51 Secure the remaining scale clamps by gradually and alternately tightening screws A and B. (Use only the right-side scale clamp for clamps with two screws, and use the right-side and the left-side scale clamps for clamps with three screws.) (Final fastening torque: 1.4 N · m) BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Fig.

  • Seite 52: Detector Head Mounting

    Move the machine table and adjust the mounting position of the detector head to roughly the center of the scale. Use the supplied mounting screws to semi-tighten the detector head. Detector head mounting screw × 30 hex. socket-head cap screw) Scale Plain washer Scale clamp (nominal 3) Scale Reference plate Detector head Detector head Fig. 3-16 BS78...

  • Seite 53: Signal Adjustment

    3-4. Signal Adjustment 3-4-1. Signal Adjustment Preparations Check that the detector is turned off. Connect the detector (BD series) to the BS78 scale unit. Remove the protective cap from the connector plug of the scale unit, and connect the connector plug to the HEAD IN terminal of the detector.

  • Seite 54: Azimuth Adjustment

    If the output of 1.6 Vp-p cannot be obtained even through repeated adjustment, recheck the mounting surface accuracy of the scale and detector head (refer to pages 5 to 7), and check again that there is no dirt on the scale’s surface. Lissajous BS78 Fig. 3-20...

  • Seite 55: Completion Of Mounting And Adjustment

    • Before using the scale to perform measurements, allow the scale to set for about three hours after mount- ing so that the secured parts can stabilize and the ambient temperature around the scale can stabilize. Scale × small screw Cable clamp Fig. 3-21 BS78...

  • Seite 56: Built-In Reference Point (R/Rs)

    3-6. Built-in Reference Point (R/RS) 3-6-1. Reference Point Detection A mono-directional reference point is used as the built-in optical reference point for the Laserscale unit. As a result, reference point detection should be performed using the relative traveling directions of the scale and detector head shown in the diagram below.

  • Seite 57: Reference Point Position

    446 (17.56") 23 (0.91") (1.97") (1.97") (1.97") (1.97") Error ±1 Unit: mm (inch) 246 (9.69") Fig. 3-24 Deletion of reference point quantity when the reference point is changed or when a vacuum is used is available as a special specification. BS78...

  • Seite 58: Spcifications

    Plain washer (nominal 4) — Reference plate — Spacer — — — Scale clamp — Cable clamp M4 × 8 small screw Accuracy chart Reference point masking label (R/RS) — Contents of the package Detector head Scale 1 set of supplied accessories BS78...

  • Seite 59: Dimensions

    5. Dimensions BS78-10N/NS BS78...
  • Seite 60 BS78-***N/NS (measuring length 40/120/170/220/370/420) BS78...
  • Seite 61 BS78-***N/NS (measuring length 70/270/320) BS78...
  • Seite 62 BS78-***R/RS (measuring length 40/120/170/220/370/420) BS78...
  • Seite 63 BS78-***R/RS (measuring length 70/270/320) BS78...

  • Seite 65: Sicherheitsmaßnahmen

    Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu Feuer, elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen, die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben können. Vorsicht Eine Mißachtung dieser Hinweise kann zu elektrischen Schlägen oder anderen Unfällen führen, die Verletzungen oder Sachbeschädigung der umliegenden Objekte zur Folge haben können. BS78...
  • Seite 66 • Schalten Sie vor Arbeiten an der Maschine unbedingt die Stromzufuhr und andere Antriebsstromquellen aus. Anderenfalls besteht Brand- oder Unfallgefahr. • Achten Sie beim Einschalten der Stromversorgung usw. zum Betrieb der Maschine darauf, daß Sie sich nicht die Finger in peripheren Maschinen und Vorrichtungen klemmen. BS78...
  • Seite 67 259-1146, Japan MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT Magnescale Co., Ltd. ∗ ∗∗∗ ∗∗∗ ∗∗ CAUTION BS78 ∗∗∗∗∗∗ DO NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO Ser. No. QUALIFIED PERSONNEL. Magnescale Co., Ltd. MADE IN JAPAN ATTENTION NE PAS DEMONTER LE CAPOT. LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE.
  • Seite 68 • Unterlassen Sie gewaltsames Ziehen oder übermäßiges Biegen des Kabels. (Biegeradius (innen): mindestens 50 mm) • Warten Sie vor Benutzung der Maßstabseinheit BS78 ungefähr 10 Minuten nach dem Einschalten der Stromzufuhr, bis sich die Temperatur des Detektorkopfes stabilisiert hat. • Die Maßstabseinheit BS78 ist ein Präzisions-Meßinstrument. Behandeln Sie sie mit äußerster Sorgfalt, damit sie keinen starken Erschütterungen ausgesetzt wird.
  • Seite 69 Machine Directives EN 60204-1, measures should be taken to ensure conformance with those directives. Warnung Wenn dieses Gerät mit Ausrüstungsteilen verwendet wird, die von den Maschinenrichtlinien EN 60204-1 geregelt werden, müssen Maßnahmen ergriffen werden, um eine Übereinstimmung mit diesen Normen zu gewährleisten. BS78...
  • Seite 71 1. ÜBERBLICK ............... 1 Vorwort ........................1 1-1. Merkmale ......................1 1-2. Modellbezeichnungen ..................1 1-3. BS78-Konfiguration und Bezeichnung der Teile ..........2 2. VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE ....3 2-1. Während der Montage ..................3 2-2. Montageanforderungen ................... 3 2-3.

  • Seite 73: Überblick

    1. ÜBERBLICK Vorwort Beim Modell BS78 handelt es sich um einen hochpräzisen, hochauflösenden Maßstab, der einen optischen Kopf mit einem Halbleiterlaser zum Ablesen einer hochauflösenden Hologrammskala besitzt. 1-1. Merkmale • Hochauflösender Maßstab mit einer Signalwellenlänge von 0,1379 µm, der Lichtwellen-Interferometer- Systeme übertrifft.

  • Seite 74: Bs78-Konfiguration Und Bezeichnung Der Teile

    1-3. BS78-Konfiguration und Bezeichnung der Teile Anschlußstecker Bezugsplatte Maßstab Befestigungsschraube Detektorkopf Maßstabsklammer Kopfkabel Abstandsstück Kabelklemme Kompensationswertaufkleber Kompensationswertaufkleber Maßstab (Meßlänge: 10 mm) Maßstab (Meßlänge: 40 mm oder mehr) Abb. 1-1 BS78...

  • Seite 75: Vorsichtsmassnahmen Zur Montage

    : DC 0,1 V/DIV X-Y-Frequenzband : 1 MHz oder mehr Werkzeuge • Sechskant-Stiftschlüssel: 3 mm, 2 mm ....................(je 1) • Kreuzschlitzschraubendreher Nr. 1 ......................(1) Verschiedenes • Zubehör ............................(1 Satz) • Gaze ..........................(geringe Menge) • Alkohol ........................... (geringe Menge) BS78...

  • Seite 76: Vor Der Montage

    Warnton, und die Einheit ist funktionsunfähig. Stellen Sie daher den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den korrekten Kompensationswert des Maßstabs ein. Außerdem muß für Detektoren, die keine Kompensation durchführen, die Auflösung berechnet werden. Schlagen Sie daher in der Gebrauchsanweisung nach. BS78...

  • Seite 77: Montage Und Einstellungen

    1. Überprüfen Sie die Größe (schraffierte Teile in der Abbildung) und Genauigkeit der Montagefläche. 2. Überprüfen Sie die Genauigkeit der Befestigungsschrauben-Koordinaten. 3. Das Modell BS78-N/NS ist für beidseitige Montage ausgelegt. Die in der nachstehenden Abbildung in Klammern angegebenen Maße gelten für den Fall, daß nach rechts überstehende Kabel verwendet werden.
  • Seite 78 Detektorkopf-Montagefläche 2-M3 Tiefe: 6 Detektorkopf-Montagefläche Rmax = 12,5S Einheit: mm Hinweis: M“ bezieht sich auf die Maschinenführungsbahn. ” Abb. 3-3 BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS L2 (±1) Modell BS78-120N/NS/R/RS 148 oder mehr BS78-170N/NS/R/RS 198 oder mehr BS78-220N/NS/R/RS 248 oder mehr 8-M4 Tiefe: 6 Maßstab-Montagefläche...
  • Seite 79 BS78-270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS Modell BS78-270N/NS/R/RS 298 oder mehr BS78-320N/NS/R/RS 348 oder mehr 10-M4 Tiefe: 6 100 ±1 40 ±0,2 100 ±1 88 ±0,3 Maßstab-Montagefläche 25 ±0,2 25 ±0,2 25 ±0,2 25 ±0,2 (15) Rmax = 6,3S 0,01 0,01 9,8 ±0,2 (20,7 ±0,2) Maßstab-Montagefläche...

  • Seite 80: Montage Des Maßstabs

    M“ bezieht sich auf die Maschinenführungsbahn. ” Abb. 3-7 3-2-2. BS78-40N/NS/R/RS bis 420N/NS/R/RS Vergewissern Sie sich, daß weder Staub noch andere Fremdkörper an der Montagefläche haften, und montieren Sie die Bezugsplatte parallel zur Maschinenführungsbahn, wie in der Abbildung gezeigt. (Anzugsmoment: 1,4 N · m) Die Bezugsbohrung befindet sich auf der linken Seite, wie in der Abbildung gezeigt.
  • Seite 81 Befestigen Sie die Maßstabsklammern provisorisch (1 oder 2 ganze Umdrehungen weniger als die halb angezogene Position) mit den Befestigungsschrauben, wie in der Abbildung gezeigt. BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS × × Unterlegscheibe Unterlegscheibe (Nennmaß 4) (Nennmaß 4) Maßstabsklammer Maßstabsklammer Bezugsplatte Bezugsplatte...
  • Seite 82 Abbildung mit A und B gekennzeichneten Schrauben der Maßstabsklammer schrittweise und abwechselnd an. (Verwenden Sie nur die linke Maßstabsklammer für Klammern mit zwei Schrauben, und die mittlere Maßstabsklammer für Klammern mit drei Schrauben.) (Endanzugsmoment: 1,4 N · m) BS78-40N/NS/R/RS BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Abb. 3-12 Wenn Sie den Maßstab gegen die Bezugsfläche drücken, üben Sie mit den Fingern an zwei Stellen einen...
  • Seite 83 Schrauben A und B. (Verwenden Sie nur die rechte Maßstabsklammer für Klammern mit zwei Schrauben, und die rechte und linke Maßstabsklammer für Klammern mit drei Schrauben.) (Endanzugsmoment: 1,4 N · m) BS78-70N/NS/R/RS, 270N/NS/R/RS, 320N/NS/R/RS BS78-120N/NS/R/RS, 170N/NS/R/RS, 220N/NS/R/RS, 370N/NS/R/RS, 420N/NS/R/RS Abb. 3-14 Ziehen Sie die Maßstabsklammern an beiden Enden des Maßstabs mit dem gleichen Anzugsmoment...

  • Seite 84: Montage Des Detektorkopfes

    Verschieben Sie den Maschinentisch, und stellen Sie die Montageposition des Detektorkopfes ungefähr auf die Mitte des Maßstabs ein. Ziehen Sie den Detektorkopf mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben provisorisch an. Detektorkopf-Befestigungsschraube × (Inbusschraube M3 Maßstab Unterlegscheibe (Nennmaß 3) Maßstabsklammer Maßstab Bezugsplatte Detektorkopf Detektorkopf Abb. 3-16 BS78...

  • Seite 85: Signaleinstellung

    3-4-1. Vorbereitung zur Signaleinstellung Stellen Sie sicher, dass der Detektor ausgeschaltet ist. Schließen Sie den Detektor (BD-Serie) an die Maßstabseinheit BS78 an. Nehmen Sie die Schutzkappe vom Anschlußstecker der Maßstabseinheit ab, und schließen Sie den Anschlussstecker an den Eingang HEAD IN des Detektors an.

  • Seite 86: Azimuteinstellung

    Falls trotz wiederholter Einstellung keine Ausgabe von 1,6 Vs-s erzielt werden kann, überprüfen Sie die Genauigkeit der Montagefläche von Maßstab und Detektorkopf (siehe die Seiten 5 bis 7), und vergewissern Sie sich erneut, daß kein Schmutz an der Oberfläche des Maßstabs haftet. Lissajous Abb. 3-20 BS78...

  • Seite 87: Abschluß Von Montage Und Einstellung

    • Bevor Sie den Maßstab für Messungen benutzen, lassen Sie ihn nach der Montage etwa drei Stunden lang ruhen, damit sich die befestigten Teile stabilisieren können und die Umgebungstemperatur des Maßstabs sich normalisieren kann. Maßstab × Kleine Schraube (M4 Kabelklemme Abb. 3-21 BS78...

  • Seite 88: Interner Bezugspunkt (R/Rs)

    3-6. Interner Bezugspunkt (R/RS) 3-6-1. Bezugspunkterfassung Ein monodirektionaler Bezugspunkt wird als interner optischer Bezugspunkt für die Laserscale- Maßstabseinheit verwendet. Demgemäß sollte die Bezugspunkterfassung in den relativen Bewegungsrichtungen von Maßstab und Detektorkopf durchgeführt werden, wie im folgenden Diagramm gezeigt. Während der Erfassung steigt das Bezugspunktsignal an.

  • Seite 89: Bezugspunktposition

    3-6-4. Bezugspunktposition Die Bezugspunkte sind in 50-mm-Abständen angeordnet. Unten angegeben sind die Bezugspunkte für bestimmte Meßlängen. Fehler ±1 Einheit: mm Fig. 3-24 Die Löschung der Bezugspunktmenge im Falle einer Bezugspunktänderung oder bei Unterdruckanwendung ist als Sonderspezifikation erhältlich. BS78...

  • Seite 90: Technische Daten

    — — × Inbusschraube M3 × Inbusschraube M4 — Unterlegscheibe (Nennmaß 3) Unterlegscheibe (Nennmaß 4) — Bezugsplatte — Abstandsstück — — — Maßstabsklammer — Kabelklemme × Kleine Schraube M4 Genauigkeitstabelle Bezugspunkt-Abdeckungsaufkleber (R/RS) — Verpackungsinhalt Detektorkopf Maßstab 1 Satz Standardzubehör BS78...

  • Seite 91: Aussenabmessungen

    5. AUSSENABMESSUNGEN BS78-10N/NS BS78...
  • Seite 92 BS78-***N/NS (Meßlängen: 40/120/170/220/370/420 mm) BS78...
  • Seite 93 BS78-***N/NS (Meßlängen: 70/270/320) BS78...
  • Seite 94 BS78-***R/RS (Meßlängen: 40/120/170/220/370/420 mm) BS78...
  • Seite 95 BS78-***R/RS (Meßlängen: 70/270/320 mm) BS78...
  • Seite 97 このマニュアルに記載されている事柄の著作権は当社にあ り、説明内容は機器購入者の使用を目的としています。 したがって、当社の許可なしに無断で複写したり、説明内 容（操作、保守など）と異なる目的で本マニュアルを使用 することを禁止します。 The material contained in this manual consists of information that is the property of Magnescale Co., Ltd. and is intended solely for use by the purchasers of the equipment described in this manual. Magnescale Co., Ltd. expressly prohibits the duplication of any portion of this manual or the use thereof for any purpose other than the operation or maintenance of the equipment described in this...
  • Seite 99 とし、それ以外についての保証はいたしかねます。 お買上げ日 年 月 日 保 期 x 保証期間内でも、次の場合は有償修理となります。 証 間 本 体 年 q 火災、地震、水害、落雷およびその他天災地変によ る故障。 型 BS78 w 使用上の誤りおよび不当な修理や改造による故障。 名 e 消耗品および付属品の交換。 r 本書の提示が無い場合。 t 本書にお買い上げ日、お客様名、販売店名等の記入 お買上げ店住所・店名 が無い場合。（ただし、納品書や工事完了報告書が ある場合には、その限りではありません。） c 離島、遠隔地への出張修理および持込修理品の出張修理 については、出張に要する実費を別途申し受けます。 v 本書は日本国内においてのみ有効です。 印 電話 b 本書の再発行はいたしませんので、紛失しないよう大切...
  • Seite 100 Note: This product (or technology) may be restricted by the government in your country. Please make sure that end- use, end user and country of destination of this product do not violate your local government regulation. 〒259-1146 神奈川県伊勢原市鈴川45 45 Suzukawa, Isehara-shi, Kanagawa 259-1146, Japan BS78 2019.7 2-917-544-0B Printed in Japan...

Inhaltsverzeichnis