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5.4
Clean the valve
1. Remove the valve from your vacuum system and
from your gas supply, if necessary.
2. Remove the cap (21) from the adjuster (18).
3. Remove the bolt and washer (20, 19), adjuster (18),
spring washer (17), scale (16) and washer (11) from
the valve.
4. If your valve is panel mounted, remove it from the
panel.
5. Remove the four bolts (15) and remove the scale
support (14) from the valve body (5).
6. Carefully pull out the needle assembly (8, 9, 10)
from the valve body (5) and remove the sealing
washer (7).
7. Remove the filter nut and filter (1, 2) from the valve
port, then remove the valve seat and 'O' ring (3, 4)
from the valve port.
8. Inspect the interior of the valve body (5) and the
valve seat (3) and the needle (8):
If the valve seat (3) or needle (8) are damaged or
corroded or there are very heavy deposits, you
must replace them: refer to Section 5.5
If the valve body (5) is badly corroded or there
are heavy deposits, you must replace the valve.
© Edwards Limited 2009. All rights reserved.
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
5.4
Reinigung des Ventils
1. Falls erforderlich, das Ventil von Vakuumsystem und
Gaszuleitung trennen.
2. Nehmen Sie die Kappe (21) vom Drehknopf (18) ab.
3. Nehmen Sie Schraube und U-Scheibe (20, 19),
Drehknopf (18), Federscheibe (17), Skala (16) und U-
Scheibe (11) vom Ventil ab.
4. Wenn Ihr Ventil in eine Konsole eingebaut ist, bauen
Sie es zunächst aus der Konsole aus.
5. Nehmen Sie die vier Schrauben (15) ab und
entfernen Sie den Skalenträger (14) aus dem
Ventilkörper (5).
6. Ziehen Sie vorsichtig die Nadelbaugruppe (8, 9, 10)
aus dem Ventilkörper heraus (5) und nehmen Sie die
Dichtungsscheibe (7) ab.
7. Nehmen Sie die Filtermutter und den Filter (1, 2)
von der Ventilöffnung ab; nehmen Sie dann den
Ventilsitz und den O-Ring (3, 4) von der
Ventilöffnung ab.
8. Prüfen Sie das Innere von Ventilkörper (5) und
Ventilsitz (3) sowie der Nadel (8):
Wenn der Ventilsitz (3) oder die Nadel (8)
beschädigt bzw. korrodiert sind oder sehr slarke
Ablagerungen bestehen: müssen Sie sie
austauschen: siehe Abschnitt 5.5.
Wenn der Ventilkörper (5) stark korrodiert ist,
oder wenn es sich um sehr slarke Ablagerungen
handelt, müssen Sie das Ventil austauschen.
C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C
5.4
Nettoyage de la vanne
1. Le cas échéant, débranchez le système de vide et
l'alimentation en gaz de votre vanne.
2. Retirez l'obturateur (21) du dispositif de réglage
(18).
3. Retirez de la vanne la vis et la rondelle (20 et 19), le
dispositif de réglage (18), la rondelle élastique (17),
l'échelle (16) et la rondelle (11).
4. Si votre vanne est fixée sur un panneau, écartez-la
de ce panneau.
5. Retirez les quatre vis (15) puis déposez du corps de
la vanne (5) le support de l'échelle (14).
6. Procédez avec soin pour extraire l'ensemble aiguille
(8, 9 et 10) du corps de la vanne (5) puis déposez la
rondelle d'étanchéité (7).
7. Retirez l'écrou du filtre (1) et le filtre (2) de
l'orifice de la vanne puis retirez le siège de la valve
et le joint torique (3 et 4) de cet orifice.
8. Examinez l'intérieur du corps de la vanne (5), le
siège de la vanne (3) et l'aiguille (8) :
Si le siège de la vanne (3) ou l'aiguille (8) est
endommagé ou corrodé ou contient des dépôts
importants, remplacez ces composants :
consultez l'alinéa 5.5.
Si le corps de la vanne (5) présente une forte
corrosion ou des dépôts importants, remplacez la
vanne.
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