thyracont VSH82 Betriebsanleitung
Vakuum messumformer
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Verwandte Anleitungen für thyracont VSH82
Inhaltszusammenfassung für thyracont VSH82
- Seite 1 VSH82 Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte ......7 3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung....... 8 Betrieb................... 9 Allgemeines ................9 Kommunikation............... 10 4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSH82........ 10 4.2.2 Kommunikationsprotokoll..........11 4.2.3 Befehlsübersicht .............. 11 Degas ..................13 Gasart-Korrekturfaktoren ............15 Schaltpunkte................16 Modus Heißkathode ............... -
Seite 3: Hinweise Für Ihre Sicherheit
Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSH82 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin- gungen; die Schutzart ist IP40, d.h. die Geräte sind geschützt gegen Eindringen von Fremdkörpern Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschlägigen Vorschriften und Schutzmaßnahmen... -
Seite 4: Vakuum Messumformer Vsh82
Messkabel 6m zum Anschluss an Anzeigegerät VD9, W1506006 Gegenstecker SubD 15polig, XB1500002 2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer VSH82 dient zur Absolutdruck-Messung im Bereich 1000 – 1,0x10 mbar. Das Gerät kann an ein Thyracont Anzeigegerät angeschlossen oder gemäß Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben werden. - Seite 5 Bestimmungsgemäße Verwendung Das VSH82 dient ausschließlich der Totaldruckmessung im Bereich 1000 - 1,0x10 mbar. Es darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Komponenten angeschlossen werden. Nicht bestimmungsgemäße Verwendung Als nicht bestimmungsgemäß gilt der Einsatz zu Zwecken, die von oben genannten abweichen, insbesondere: der Anschluss an Geräte oder Komponenten, die laut ihrer Betriebs-...
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Seite 6: Installation
Installation Hinweise zur Installation Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5°C ... +50°C Rel. Luftfeuchte: 5 - 85%, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, be- einträchtigen die Funktion dieses Gerätes. -
Seite 7: Elektrischer Anschluss
Prozessmedien führen. Elektrischer Anschluss 3.3.1 Anschluss an Thyracont Anzeigegeräte Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigegerät betrieben, ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden (siehe Zubehör). Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung führen- dem Kabel herstellen! Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern. Gegenüber- liegenden Stecker am Anzeigegerät anstecken und sichern. -
Seite 8: Kundeneigene Spannungsversorgung
3.3.2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigegeräten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker Typ SubD, PIN 1 17K2 15polig, männlich PIN 2 Pin 1: Identifikation PIN 3 Pin 2:... -
Seite 9: Betrieb
Ionenstrom ist ein Maß für die Anzahl der vorhandenen Gasmolekü- le und somit für den Absolutdruck. Ausgangssignal Das Mess-Signal 1,4 – 8,6 V des VSH82 ist über den gesamten Messbereich von 1,0x10 - 1000 mbar logarithmisch vom Druck abhängig. Die Umrechnung erfolgt gemäß... -
Seite 10: Kommunikation
Kommunikation 4.2.1 Die serielle Schnittstelle des VSH82 Der Messumformer VSH82 verfügt über eine serielle Schnittstelle RS485. Um die Kommunikation über RS485 zu aktivieren, ist zunächst der Gummistopfen über dem Adress-Schalter zu entfernen (1) und anschließend der Adress- Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 15 einzustellen (2). -
Seite 11: Kommunikationsprotokoll
Der Messumformer reagiert auf Typanfragen, Messwertanfragen, Justierbefehle, Degas-Anweisungen (siehe Abschnitt 4.3) und Befehle zum Setzen von Gasart- Korrekturfaktoren (siehe Abschnitt 4.4). Die Programmierung der beiden Relais-Schaltpunkte des VSH82 ist ebenfalls via RS485 möglich (siehe Abschnitt 4.5). Darüber hinaus lassen sich bestimmte Parameter konfigurieren, die das... - Seite 12 Degas D, d BOOLEAN lesen D, schreiben d Schaltpunkt S, s FLOAT lesen S, schreiben s (VSH82: SP1 und SP2) Gasart-Korrekturfaktor C, c UNSIGNED INT lesen C, schreiben c (VSH82: C1 für Pirani, C2 für Bayard Alpert) Modus Heißkathode I, i...
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Seite 13: Degas
Degas Ablagerungen und adsorbierte Gasmoleküle auf den Elektroden des Heißkatho- densensors können zu erhöhtem Ausgasen im Ultrahochvakuum führen sowie andererseits Instabilitäten im Mess-Signal verursachen. In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2.0x10 mbar die Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten Gasmolekülen zu reinigen. - Seite 14 Adress-Schalterstellung "1" Beispiel Aktion Telegramm an Antwort-Telegramm Messumformer vom Messumformer Degas einschalten "001d1f " "001d1f " Degas ausschalten "001d0e " "001d0e " Degas Status lesen "001DU " "001D1F " Degas: on) Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2.
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Seite 15: Gasart-Korrekturfaktoren
Gasart-Korrekturfaktoren Das Mess-Signal des VSH82 ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N bzw. trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar korrigiert werden, indem Korrekturfaktoren für beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden. Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Gerät jeweils mit den... -
Seite 16: Schaltpunkte
Die Schalter sind jeweils bei Druckwerten unterhalb der zugehörigen Sollwerte aktiv und es leuchten die entsprechenden Kontroll-LEDs auf der Steckerseite des VSH82. Die Schalthysterese ist fest auf 30% vom Sollwert eingestellt. Die Programmierung der beiden Sollwerte erfolgt via RS485-Schnittstelle. Address... -
Seite 17: Modus Heißkathode
"1": Modus "aktiv" automatisches Ein- und Abschalten der Heißkathode Bei deaktivierter Heißkathode verhält sich der VSH82 wie ein reiner Pirani- Messumformer mit Messbereich 1000 – 1x10 mbar. Entsprechend bedeutet die Ausgabe "ur" in diesem Fall, dass der Druckwert unterhalb 1x10 mbar liegt. -
Seite 18: Modus Wertangleichung
Modus Wertangleichung Im VSH82 erfolgt standardmäßig ein kontinuierlicher Übergang zwischen Pirani- und Heißkathodenbereich. Dabei findet eine Wertangleichung statt. Um das Verhalten des Messumformers den Prozessanforderungen optimal anzupassen, können mit dem Parameter "Modus Wertangleichung" per RS485 folgende Optionen konfiguriert werden: "0": keine Wertangleichung, d.h. -
Seite 19: Nachjustieren
Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend, d.h. mit dem Flansch nach unten, abgeglichen. Andere Einbaulagen, Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen, extreme Temperaturschwankungen, Alterung oder Verschmutzung können ein Nachjus- tieren des Piranisensors erforderlich machen. Nachjustieren am Gerät Ein Nachjustieren auf Atmosphärendruck oder Nulldruck ist digital über den Taster "adj"... -
Seite 20: Schutzblende Einbauen
Justieren auf Nulldruck "001j100016c " "001j100016c " Weitere Informationen zum Thyracont-Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4.2. Schutzblende einbauen Um den Sensor gegen starke Verschmutzung, Strahlung und schnelle Teilchen zu schützen, empfehlen wir für diese Fälle den Einbau der mitgelieferten Schutz- blende. -
Seite 21: 4.10 Ausheizen - Elektronik Abnehmen
4.10 Ausheizen - Elektronik abnehmen Soll die Vakuumkammer ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 80°C nicht überschreiten. Höhere Ausheiztemperaturen bis maximal 180°C am Flansch können realisiert werden, wenn Sie die Elektronikeinheit des Messumformers beim Ausheizen abnehmen. Hierzu lösen Sie die beiden Inbusschrauben und ziehen die Elektronik-Einheit gerade und ohne Drehbewegung nach hinten ab. -
Seite 22: Wartung Und Service
Vorschriften und Schutzmaßnahmen. Das Gerät ist wartungsfrei. Äußerliche Verschmutzungen können mit einem feuchten Tuch beseitigt werden. Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSH82 auftreten, senden Sie das Gerät bitte mit einer ausgefüllten Kontaminationserklärung (siehe nächste Seite) zur Reparatur an uns. -
Seite 24: Technische Daten
Technische Daten Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Heißkathode Bayard Alpert Messbereich 1000 - 1,0x10 mbar (750 - 1,0x10 Torr) Max. Überlast 4 bar abs. Genauigkeit 1000 - 20mbar: ca. 30 % f.r. (v. Messwert) 20 - 0,001mbar: 10 % f.r. < 0,001mbar: 15 % f.r. Materialien mit Edelstahl 1.4301, Wolfram, Nickel, Glas, Keramik, Iridium Vakuumkontakt... - Seite 25 Abtastrate 120 ms Betriebstemperatur 5...50 Lagertemperatur -20...+70 Ausheiztemperatur max. 180°C am Flansch bei abgenommener Elektronik Spannungsversorgung 20 - 30 VDC Leistungsaufnahme ca. 6,5 W Ausgangssignal 0 - 10 VDC Messbereich 1,4 - 8,6 VDC, logarithmisch Serielle Schnittstelle RS485: 9600 baud, 8 databit, 1 stopbit, no parity Elektrischer Anschluss Sub-D, 15-polig, männl., verschraubbar Vakuumanschluss...
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Seite 26: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung... -
Seite 51: Declaration Of Conformity
Declaration of Conformity...