2
Inhalt
1
2
2.1
Zur Orientierung ....................................................................... 4
2.2
Lieferumfang............................................................................. 4
2.3
3
Installation .................................................................................... 6
3.1
3.2
Vakuumanschluss .................................................................... 6
3.3
3.3.1
3.3.2
4
Betrieb........................................................................................... 9
4.1
Allgemeines .............................................................................. 9
4.2
Kommunikation....................................................................... 10
4.2.1
4.2.2
4.2.3
Befehlsübersicht .............................................................. 11
4.3
Degas ..................................................................................... 13
4.4
4.5
Schaltpunkte........................................................................... 16
4.6
4.7
4.8
Nachjustieren.......................................................................... 19
4.9
4.10
5
6
Technische Daten....................................................................... 24
Hersteller/Manufacturer/Constructeur:
Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Max Emanuel Straße 10
D 94036 Passau
Tel.: ++49/851/95986-0
Fax.: ++49/851/95986-40
email: info@thyracont.de
Internet: http://www.thyracont.com