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Installation
5.2 Hochvakuumseite anschließen
5.2.1 Anforderungen für die Auslegung des Gegenflansches
Gefahr von Sachschäden durch fehlerhafte Auslegung des Gegenflansches
Unebenheiten am betreiberseitigen Gegenflansch führen auch bei ordnungsgemäßer Befestigung zu
Verspannungen im Gehäuse der Vakuumpumpe. Undichtigkeiten oder negative Veränderungen der
Laufeigenschaften sind die Folge.
► Halten Sie die Formtoleranzen für den Gegenflansch ein.
► Beachten Sie die maximale Abweichungen der Ebenheit über die gesamte Fläche.
Parameter
Maximal auftretendes Drehmoment im Berstfall
Maximal zulässige axiale Belastung auf dem Hochvakuumflansch
Ebenheit
Mindestzugfestigkeit des Flanschmaterials in allen Betriebszuständen im
Bezug auf die Einschraubtiefe der Befestigungsschrauben
Maximal zulässiges umgebendes Magnetfeld
Maximal zulässige eingestrahlte Wärmeleistung
Tab. 7:
Wichtiger Hinweis für die ordnungsgemäße Installation
► Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen Befesti-
5.2.2 Erdbebensicherheit berücksichtigen
Schäden an der Vakuumpumpe durch äußere Erschütterungen
Bei Erdbeben oder anderen äußeren Erschütterungen besteht die Gefahr, dass der Rotor mit den
Fanglagern in Kontakt kommt oder die Gehäusewand der Turbopumpe berührt. Mechanische Belas-
tungen bis hin zur Zerstörung der Turbopumpe sind die Folge.
► Achten Sie darauf, dass alle Flansch- und Sicherheitsverbindungen die auftretenden Kräfte auf-
► Sichern Sie die Vakuumkammer gegen Verschieben oder Verkippen.
1)
2)
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Auf- und Anbauten auf dem Hochvakuumanschluss
Die Montage von Auf- und Anbauten auf dem Hochvakuumanschluss liegt in der Verant-
wortung des Betreibers. Die Belastbarkeit des Hochvakuumflansches ist spezifisch für die
verwendete Turbopumpe.
● Das Gesamtgewicht von Aufbauten darf die angegebenen axialen Maximalwerte nicht
überschreiten.
● Stellen Sie sicher, dass im Falle eines plötzlichen Blockierens des Rotors der Hochva-
kuumanschluss und die betreiberseitige Anlage alle auftretenden Drehmomente auf-
nehmen müssen.
● Verwenden Sie für den Hochvakuumanschluss der Turbopumpe nur die zugelassenen
Befestigungssätze von Pfeiffer Vacuum.
Anforderungen für die Auslegung des kundenseitigen Hochvakuumanschlusses
gungssätze von Pfeiffer Vacuum.
nehmen.
Das theoretisch ermittelte Drehmoment im Falle von Burst (Bruch der Rotorwelle) gemäß ISO 27892 wurde im
experimentellen Test in keinem Fall erreicht.
Eine einseitige Belastung ist nicht zulässig.
HINWEIS
1)
2)
HINWEIS
HiPace 1200
9800 Nm
2000 N
(entspricht 200 kg)
± 0,05 mm
170 N/mm
2
bei 2,5 x d
270 N/mm
2
bei 1,5 x d
6,0 mT
22,5 W
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