Renishaw ATOM DX Installationsanleitung Seite 36

40 μm ATOM DX Abtastkopf
Zählerfrequenz
getakteter
Ausgang (MHz) T D
(10 µm) (5 µm)
50 20 20
40 20 20
25 20 20
20 20 20
12 20 20
10 20 20
08
20 20
06
20 20
04 20 18,13
01
9,06 4,53
Drehzahl abhängig vom optischen Durchmesser, Umrechnung nach:
V × 1000 × 60
Drehzahl (min-1) = Wobei V = die maximale Umfangsgeschwindigkeit (m/s) und D = der optische Durchmesser der RCDM Scheibe ist (in mm)
π D
1
Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
36 ATOM DX und RCDM Winkelmesssystem
™
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
Abtastkopftyp
G X Z B
(2 µm) (1 µm) (0,5 µm) (0,2 µm)
20 20 18,13 7,25
20 20 14,50 5,80
20 18,13 9,06 3,63
20 16,11 8,06 3,22
20 10,36 5,18 2,07
17,06 8,53 4,27 1,71
13,81 6,91 3,45 1,38
10,74 5,37 2,69 1,07
7,25 3,63 1,81 0,73
1,81 0,91 0,45 0,18
Y H M I
(0,1 µm) (50 nm) (40 nm) (20 nm)
3,63 1,813 1,450 0,725
2,90 1,450 1,160 0,580
1,81 0,906 0,725 0,363
1,61 0,806 0,645 0,322
1,04 0,518 0,414 0,207
0,85 0,427 0,341 0,171
0,69 0,345 0,276 0,138
0,54 0,269 0,215 0,107
0,36 0,181 0,145 0,073
0,09 0,045 0,036 0,018
Mindestflankenabstand
(ns)
O Q
(10 nm) (5 nm)
0,363 0,181 25,1
0,290 0,145 31,6
0,181 0,091 51,0
0,161 0,081 57,5
0,104 0,052 90,0
0,085 0,043 109
0,069 0,035 135
0,054 0,027 174
0,036 0,018 259
0,009 0,005 1038
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