Renishaw ATOM DX Installationsanleitung Seite 35

Geschwindigkeit
20 μm ATOM DX Abtastkopf
Zählerfrequenz
getakteter
Ausgang (MHz) D X
(5 µm) (1 µm)
50 10 10
40 10 10
25 10 10
20
10 10
12 10 10
10 10 8,53
08 10 6,91
06 10 5,37
04 10 3,63
01 4,53 0,91
Drehzahl abhängig vom optischen Durchmesser, Umrechnung nach:
V × 1000 × 60
Drehzahl (min-1) = Wobei V = die maximale Umfangsgeschwindigkeit (m/s) und D = der optische Durchmesser der RCDM Scheibe ist (in mm)
π D
1
Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
Abtastkopftyp
Z B Y
(0,5 µm) (0,2 µm) (0,1 µm) (50 nm)
10 7,25 3,63 1,813
10 5,80 2,90 1,450
9,06 3,63 1,81 0,906
8,06 3,22 1,61 0,806
5,18 2,07 1,04 0,518
4,27 1,71 0,85 0,427
3,45 1,38 0,69 0,345
2,69 1,07 0,54 0,269
1,81 0,73 0,36 0,181
0,45 0,18 0,09 0,045
H M I O
(40 nm) (20 nm) (10 nm)
1,450 0,725 0,363
1,160 0,580 0,290
0,725 0,363 0,181
0,645 0,322 0,161
0,414 0,207 0,104
0,341 0,171 0,085
0,276 0,138 0,069
0,215 0,107 0,054
0,145 0,073 0,036
0,036 0,018 0,009
Mindestflankenabstand
(ns)
Q R
(5 nm) (2,5 nm)
0,181 0,091 25,1
0,145 0,073 31,6
0,091 0,045 51,0
0,081 0,040 57,5
0,052 0,026 90,0
0,043 0,021 109
0,035 0,017 135
0,027 0,013 174
0,018 0,009 259
0,005 0,002 1038
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