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Gasartabhängigkeit
Für andere Gase als Luft kann der Druck im Anzeigenbereich
-3
p < 10
Gasart
He
Ne
Kr
Ar
3
3.1
18 17200026_001_C0 – (2016-10) - Leybold
mbar durch eine einfache Umrechnung ermittelt werden:
p
= C × angezeigter Druck
eff
Kalibrier-
faktor C
5.9
4.1
0.5
0.8
Einbau
Vakuumanschluss
GEFAHR
GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im
Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch her-
umfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch
ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im
Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete
Spannelemente verwenden.
Gasart
Luft, O
, CO, N
2
2
H
2
Xe
Kalibrier-
faktor C
1.0
2.4
0.4
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