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Profibus
ITR 200 P
DP/V1-Interface für IONIVAC
Schnittstellenbeschreibung 17200028_001_C0
Kat.-Nummern
230 252
230 256

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Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD ITR 200 P

  • Seite 1 Profibus ITR 200 P DP/V1-Interface für IONIVAC Schnittstellenbeschreibung 17200028_001_C0 Kat.-Nummern 230 252 230 256...
  • Seite 2 Bei allen Informationen in diesem Dokument, die den Pirani-Vakuummessteil (Pirani-Messprinzip) betreffen, wird die Kurzbezeichnung "Pirani" verwendet. Produktidentifikation Im Verkehr mit Leybold sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Katalognummern...
  • Seite 3 Geräten an einem Profibus gemäss dem Standard nach  [3], [4]. Warenzeichen ® SEMI Semiconductor Equipment and Materials International, California Profibus Dieses Dokument enthält Informationen und Auszüge aus dem Profibus-Profil (→  [3], [5], [6]).  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 4 Anhang A: Definitionen Anhang B: Block Type Anhang C: Elektrische Anschlüsse Anhang D: Literatur Kontaminationserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→  XY) verwendet, für Verweise auf andere Dokumente das Symbol (→  [Z]).  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 5 Profibus Master mit dem Dienst "Set Slave Address" gesetzt werden. Die so gesetzte Adresse wird im EEPROM des Transmitters abgespeichert. Ident-Nummer Die dieser Transmitter von der PNO (→  [3]) zugeordneten Ident-Nummer lautet: Transmitter Ident-Nummer (hexadezimal) ITR 200 SP 0x09AA  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 6 Values, Safe States bzw. um selten benötigte Attribute zu lesen oder zu schreiben. Der zyklische Datenverkehr dient zum kontinuierlichen Datenaustausch der benö- tigten Prozessparameter, also Druckwert und Statusanzeigen. Für den zyklischen Datenverkehr kann zwischen verschiedenen Standardtelegrammen gewählt wer- den (→ Abschnitt "Zyklische Nachrichtentelegramme").  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 7 Jeder über Profibus verfügbare Wert muss auf einen dieser Slot/Indices abgebildet werden. Die Parameter sind generell in aufsteigender Reihenfolge nummeriert, beginnend mit Index 16. Services wie "Einschalten Degas" oder "Fullscale" beginnen bei In- dex 15 und sind in absteigender Richtung nummeriert.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 8 Der Parameterkanal soll Mastern, die nicht über Profibus DPV1 verfügen, ermögli- chen, auf gerätespezifische Parameter zuzugreifen, die nicht im normalen zykli- schen Datentelegramm enthalten sind. Bei Mastern, die Profibus DPV1 bearbeiten können, ist kein Parameterkanal notwendig.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 9 D.h., dass exakt eine Instruktion in einem Ausgangstelegramm an den Slave ge- schickt werden kann und exakt eine Antwort vom Slave in einem Eingangstele- gramm an den Master zurückgeschickt wird. Somit sind genau 4 Bytes Nutzdaten übertragbar.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 10 2) Der Slave beantwortet die Instruktion immer wieder, bis der Master eine neue Instruktion schickt. 3) Der Master kennzeichnet das Ende des ersten Instruktionszyklus indem er AK auf Null setzt. Erst dann darf ein neuer Instruktion-/ Antwortzyklus begonnen werden.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 11 AK(RS) = 0 Fetch Data AK (IS) = 1 AK(RS) = 0 AK (IS) = 1 AK(RS) = 1 Store Data AK (IS) = 0 AK(RS) = 0 AK (IS) = 0 AK(RS) = 0  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 12 One Of N Status Extension One Of N PV Selector 11 … 14 Process Value float Konfigurationsdaten Entsprechend den verwendeten Standardtelegrammen müssen während der Kon- figurationsphase Konfigurationsdaten an den Transmitter übermittelt werden (→ Tabelle auf  6).  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 13 Grössen des Transducer Blocks ergeben bzw. be- rechnen lassen, werden in den Function Blocks dargestellt. • One Of N Analog Input Function Block • Analog Input Function Block, Instance 1, Instance 2, Instance 3, Instance 4.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 14 Der Parameter beschreibt die Version des "Sensor/Actuator Network Specific ® Device Model", das von der SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International, California) veröffentlicht wurde und nach dem dieses vorliegende Geräteprofil entwickelt wurde. Der Parameter ist fest auf "E54-0997" gesetzt.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 15 Der Parameter gibt den Status des Transmitters wieder. Aufgrund der Device State Machine-Struktur sind folgende Stati möglich: Parameter-Wert Status Undefined Self Testing Idle Selftest Exception Executing Abort Critical Fault Eine detaillierte Beschreibung der Gerätestati erfolgt im Abschnitt "Device Block, Geräteverhalten".  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 16 Gruppe Warning Device Specific festgestellt wird. WARNING/manufacturer- Das Bit wird gesetzt, wenn ein Fehler specific der Gruppe Warning Manufacturer Common festgestellt wird. Extended Format Steht immer auf "1" und kennzeichnet die Verwendung des erweiterten Feh- lerausgabeformates.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 17 Enthält aktuelle Fehlermeldungen Abhängig vom Exception Detail 0 aus der Gruppe Manufacturer Fehlerstatus Exception Detail Alarm. Common Exception Detail Alarm Common Exception Detail 0 Common Exception Detail 1 EPROM exception EEPROM exception RAM exception  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 18 Das Byte ist eine Kopie des Sensor Alarm-Byte 0 des BA Transducer Alarm-Byte 1 des BA Transducer Block. Block. Manufacturer Exception Detail Alarm 0 Manufacturer Exception Detail 0 wird auf "1" gesetzt, wenn ein Transmitter-interner Kommunikationsfehler auftritt.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 19 Gibt die Anzahl der nachfolgen- Exception Detail den Bytes an, die Manufacturer Size Exception Detail Warning enthal- ten. Manufacturer Enthält aktuelle Fehlermeldungen Abhängig vom Exception Detail aus der Gruppe Manufacturer Warnungs- Exception Detail Warning. status  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 20 Device Exception Detail 2 bezogen auf Pirani bezogen auf Pirani Elektronik-/Sensorwarnung Das Byte ist eine Kopie des Sensor Das Byte ist eine Kopie des Sensor Warning-Byte 0 Pirani Transducer Warning-Byte 1 Pirani Transducer Block Block  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 21 Dieser Parameter entspricht dem Device Exception Detail Warning Byte 0 … 3 der Exception Detail Warning (ID 28). 3.1.1.18 Copy Device Exception Detail Warning 4, ID 210 Dieser Parameter entspricht dem Device Exception Detail Warning Byte 4 der Exception Detail Warning (ID 28).  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 22 Sobald zyklischer Datenverkehr aufgenommen wird, geht der Transmitter automa- tisch über in den Zustand EXECUTING. Azyklischer Datenverkehr Bei azyklischem Datenverkehr muss ein START-Service geschickt werden, um den Transmitter in den Zustand EXECUTING zu bringen.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 23 Bringt das Gerät in den Status EXECUTING, in dem die Transmitterfunktion ausgeführt wird. Sobald zyklischer Datenverkehr initialisiert wird, wird dieser Statusbefehl automatisch ausgeführt. Stop Bringt den Transmitter in den IDLE-Status. Perform Stoppt die laufende Aktivität und startet Diagnostic SELFTEST.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 24 Die Messwerte der Instanzen 3 und 4 (Schwellwerte der Schaltfunktionen) werden nicht in den zyklischen Daten ausgegeben. Die Druckbereiche, in denen mit Pirani bzw. mit BA gemessen wird und entsprechend als aktiv bezeichnet werden, sind nachfolgend dargestellt:  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 25 Falls das Gerät nicht im EXECUTING Status (ID 25, Device Block) ist, wird der Wert ausgegeben, der durch den Safe State vorgegeben ist. In der Druckeinheit COUNTS ausgegebene Werte sind folgendermassen in einen Druckwert umzurechnen:  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 26 Datenverkehrs (→ Abschnitt "User Parameter Data"). Das Setzen des Datentyps in einer Instanz setzt den Datentyp aller In- stanzen auf den gleichen Wert. Ebenso gilt die in den User Parameter Daten gemachte Einstellung für alle Instanzen.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 27 Der Safe Value ist der Wert, der mit dem Parameter Process Value (ID 19) im Fall eines Fehlers oder des Zustandes NOT EXECUTING ausgegeben wird. Wenn der Wert auf Null gesetzt ist, bleibt er auch bei einem Wechsel der Druckeinheit auf Null.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 28 3.2.2.11 AI Block Adjust Command (Pirani) ID 15 Dieser Parameter ermöglicht Nullpunkt- und Fullscale-Abgleich des Pirani. Byte Name Struktur Datentyp Bytes Access State Command Simple UINT8 1/2_W State Command Name Beschreibung Zero Adjust Pirani Nullpunkt-Abgleich Gain Adjust Pirani Fullscale-Abgleich  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 29 Berechnung des Druckwertes (PV ist die Abkürzung für Process Value): (COUNTS / 2000) - 12.5 mbar 0.75006168 × PV Torr mbar × PV Micron Torr 100 × PV mbar 3.2.3.2 Status ID 20 Der Parameter steht immer auf "0".  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 30 Der Parameter gibt an, dass der Messwert in einem gültigen Bereich liegt. Er wird unter folgenden Bedingungen auf "1" gesetzt: • Der Transmitter ist im EXECUTING-Status. • Es liegt kein Fehler vor • Der Messwert ist kleiner als der Overrange-Wert und grösser als der Underrange-Wert.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 31 Wert auf Null gesetzt ist, bleibt er auch bei einem Wechsel der Druckeinheit auf Null. 3.2.3.9 Overrange ID 44 Overrange ist der höchste gültige Messwert, bei dem Reading Valid noch auf "1" gesetzt ist. Druckeinheit Overrange COUNTS 21602 Torr 1.5×10 mTorr (Micron) mbar 2×10 Pascal  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 32 Formeln in Druck umrechnen: (U - 7.75) / 0.75 mbar wobei: U ist die Schwellwertspannung (0 … +10 V) des jeweiligen Setpoints (A, B), gemessen am D-Sub-Stecker (Messkabelanschluss) des Trans- mitters (→  [2]).  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 33 Das Setzen des Datentyps in einer Instanz setzt den Datentyp aller In- stanzen auf den gleichen Wert. Ebenso gilt die in den User Parameter Daten gemachte Einstellung für alle Instanzen. 3.2.4.5 Reading Valid ID 23 Der Parameter steht immer auf "1".  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 34 ID 44 (Analog Input Function Block Instance 1) definierten Wert überschreitet. Reading Invalid: Der Parameter wird auf "1" gesetzt, wenn der Parameter "Reading Valid" ID 23 (Analog Input Function Block Instance 1) auf "0" gesetzt ist.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 35 119 Mode Filament Selection Simple Boolean 2_R/W (Filament User Mode) 201 Emission User Mode Simple Boolean 1/2_R State 3.3.3.1 Block Type ID 101 Die Block Type ID besitzt entsprechend der Tabelle im Anhang A den Wert "16".  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 36 Bit gesetzt. Das Bit wird bei einem Druckwert von <7.2×10 mbar wieder zurückgesetzt. Die hier bestimmten Sensor Warning Bits werden in den Device Block auf die ID 28 in den Bereich "Device Exception Detail Warning" des BA-Teils kopiert.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 37 Active Filament Nr. Byte-Wert Bedeutung Filament 1 aktiv Filament 2 aktiv 3.3.3.8 Degas Status ID 109 Der Parameter gibt an, ob sich der Transmitter im Degasbetrieb befindet. Degas Status Bedeutung FALSE Degas Aus TRUE Degas Ein  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 38 Der Parameter gibt an, ob sich der Transmitter im Automatic- oder im Manual- Mode befindet. Der Mode wird über Transition Command 18 (ID14) gesetzt. Ab Werk ist der Parameter immer auf Automatic Mode gesetzt. Emission User Byte-Wert Bedeutung Mode Status FALSE Manual Mode TRUE Automatic Mode  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 39 Falls die Emission bei Drücken im BA-Bereich manuell ausgeschaltet wird, wird der Messwert des Pirani übernommen. Eine automatische Rück- kehr in den BA-Bereich ist bei der BPG402 nicht vorgesehen. 0  Manual Mode aktivieren 1  Automatic Mode aktivieren  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 40 Azyklisch lesbar von einem Master Class 1 und 2 Azyklisch schreibbar von einem Master Class 1 Azyklisch schreibbar von einem Master Class 2 1/2_W Azyklisch schreibbar von einem Master Class 1 und 2 0_XI Zyklische Ausgangsdaten mit Master Class 1  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 41 They produce output pa- rameters that are available for use within the same function block application or by other function block applications.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 42 I/O channels. Variable A software entity that may assume any one of a set of values. The values of a variable are usually restricted to a certain data type.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 43 Sensor Analog Input Ambient Temperature Transducer Block Heat Transfer Vacuum Gauge Diaphragm Gauge Cold Cathode Ion Gauge Hot Cathode Ion Gauge Trip Point Function Block Reserved 18 … 2 Manufacturer-specific … 2 Pirani-Messteil BA-Messteil  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 44 Pin 13 nicht anschließen Pin 14 nicht anschließen Pin 15 nicht anschließen Für den normalen Betrieb des Transmitters dürfen Pin 3 und Pin 6 nicht angeschlossen werden. Diese Anschlüsse dienen ausschließlich der Schwellwerteinstellung der Schaltfunktionen.  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 45 Pin 6 VP Pin 7 nicht angeschlossen Pin 8 RxD/TxD-N Pin 9 nicht angeschlossen Wird nur bei Verwendung von optical link-Modulen angeschlossen. Wird nur bei Endgeräten im Profibussystem zum Leitungsabschluss be- nötigt (→  [3]).  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 46 Kurzanleitung Dual Filament Bayard-Alpert Pirani Transmitter ITR 200 S, ITR 200 SL, ITR 200 SP, ITR 200 SD 17200026_001 Leybold GmbH, D–50968 Köln  [2] www.leybold.com Gebrauchsanleitung Dual Filament Bayard-Alpert Pirani Gauge ITR 200 S, ITR 200 SL, ITR 200 SP, ITR 200 SD 17200137_001 Leybold GmbH, D–50968 Köln...
  • Seite 47 Kontaminationserklärung Kontaminationserklärung  17200028_001_C0 – (2016-10) – Leybold...
  • Seite 48 Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Amerika Großbritannien Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center Leybold GmbH Leybold UK LTD. 1959, Kami-yokoba Sales, Service, Support Center (3SC) Unit 9 Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Leybold USA Inc. Bonner Straße 498 Silverglade Business Park...

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