LEYBOLD IONIVAC ITR 200 S Bedienungsanleitung Seite 17

Beziehung Messsignal – Druck
Druck p [mbar]
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
1E–06
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
1.0
0.0
wobei p
U
c
2.0 3.0 4.0
Messsignal U [V]
(U-7.75)/0.75+c
p = 10
U
[V] [mbar]
[V] [Pa]
[V] [Torr]
Druck
Messsignal
Konstante (abhängig von der Masseinheit)
17200026_001_C0 - (2016-10) -  Leybold 17
5.0 6.0 7.0
p c
0
2
-0.125
8.0 9.0 10.0