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Geschwindigkeit
Zählerfrequenz getakteter
Ti0004
Ausgang (MHz)
5 µm
50
10
40
10
25
10
20
10
12
10
10
10
08
10
06
10
04
10
01
4,2
Analogausgang
HINWEIS: Die maximale Verfahrgeschwindigkeit des TD Interface ist abhängig von der Auflösung, wie in obiger Tabelle dargestellt.
TONiC RKLC20-S Wegmesssystem – Installationshandbuch
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
Ti0020
Ti0040
Ti0100
Ti0200
Ti0400
1 µm
0,5 µm
0,2 µm
0,1 µm
50 nm
10
10
6,48
3,24
1,62
10
10
5,40
2,70
1,35
10
8,10
3,24
1,62
0,810
10
6,75
2,70
1,35
0,675
9
4,50
1,80
0,900
0,450
8,10
4,05
1,62
0,810
0,405
6,48
3,24
1,29
0,648
0,324
4,50
2,25
0,90
0,450
0,225
3,37
1,68
0,67
0,338
0,169
0,84
0,42
0,16
0,084
0,042
10 (−3 dB)
Ti1000
Ti2000
Ti4000
Ti10KD
Ti20KD
20 nm
10 nm
5 nm
2 nm
1 nm
0,648
0,324
0,162
0,0654
0,032
0,540
0,270
0,135
0,054
0,027
0,324
0,162
0,081
0,032
0,016
0,270
0,135
0,068
0,027
0,013
0,180
0,090
0,045
0,018
0,009
0,162
0,081
0,041
0,016
0,0081
0,130
0,065
0,032
0,013
0,0065
0,090
0,045
0,023
0,009
0,0045
0,068
0,034
0,017
0,0068
0,0034
0,017
0,008
0,004
0,0017
0,0008
18
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