Geschwindigkeit - Renishaw ATOM DX Installationshandbuch

Geschwindigkeit

Zählerfrequenz
getakteter
Ausgang (MHz) T D
(10 µm) (5 µm)
50
20 20
40
20 20
25
20 20
20 20 20
12 20 20
10 20 20
08 20 20
06 20 20
04 20 18,13
01 9,06 4,53
Drehzahl abhängig vom optischen Durchmesser, Umrechnung nach:
V × 1000 × 60
Drehzahl (min-1) = Wobei V = die maximale Umfangsgeschwindigkeit (m/s) und D = der optische Durchmesser der CSF40 Scheibe ist (in mm)
π D
1
Bei einem Abtastkopf mit 1 m Kabel.
Maximale Geschwindigkeit (m/s)
Abtastkopftyp
G X Z B
(2 µm) (1 µm) (0,5 µm) (0,2 µm)
20 20 18,13 7,25
20 20 14,50 5,80
20 18,13 9,06 3,63
20 16,11 8,06 3,22
20 10,36 5,18 2,07
17,06 8,53 4,27 1,71
13,81 6,91 3,45 1,38
10,74 5,37 2,69 1,07
7,25 3,63 1,81 0,73
1,81 0,91 0,45 0,18
Y H M
(0,1 µm) (50 nm) (40 nm) (20 nm)
3,63 1,813 1,450 0,725
2,90 1,450 1,160 0,580
1,81 0,906 0,725 0,363
1,61 0,806 0,645 0,322
1,04 0,518 0,414 0,207
0,85 0,427 0,341 0,171
0,69 0,345 0,276 0,138
0,54 0,269 0,215 0,107
0,36 0,181 0,145 0,073
0,09 0,045 0,036 0,018
Mindestflankenabstand
I O Q
(10 nm) (5 nm)
0,363 0,181
0,290 0,145
0,181 0,091
0,161 0,081
0,104 0,052
0,085 0,043
0,069 0,035
0,054 0,027
0,036 0,018
0,009 0,005
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1
(ns)
25,1
31,6
51,0
57,5
90,0
109
135
174
259
1038
37