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Maschenfilter Wechseln Oder Einlegen - CleanControlling CPS2 ESD Bedienungsanleitung

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Partikelsaugextraktionsvorgang

5.3. Maschenfilter wechseln oder einlegen

Bei eventueller Weiterleitung der nicht in der Zykloneinheit abgeschiedenen
Partikel, ist eine Filtereinheit zur Absicherung und zum Überlastschutz
vorhanden. Der Überlastschutz des Zyklons ist bei sehr großen, stoßartigen
Ansaugmengen von Partikel notwendig.
 Filtereinheit nach Lösen und Abklappen der 3 Rändelschrauben (16) öffnen
 Den Maschenfilter (15) mittels der Pinzette entnehmen. Die Pinzette dazu in
der entsprechenden Aussparung (gekennzeichnet mit Kreis) der Filtereinheit
ansetzen und Maschenfilter entnehmen
 Den Maschenfilter anschließend mikroskopisch (nach ISO 16232)
analysieren. Die Partikel auf dem entnommenen Maschenfilter der
Filtereinheit ergänzen die mikroskopische Auswertung.
 Neuen Maschenfilter (15) in die Filterspannstelle einlegen.
 Filtereinheit wieder aufsetzen, dabei auf korrekten Sitz des Maschenfilters
(15) achten und mittels Rändelschrauben (16) festziehen.
Partikelsaugextraktionssystem Art-Nr.: 6003490
Um mögliche Schäden an den beprobten ESDS zu vermeiden, diese
während der Durchführung von Arbeiten am C|PS²-Systems ESD-
geschützt verpacken oder das C|PS²-Systems aus der EPA-Umgebung
entfernen.
15
16
Maschenfilter entnehmen und archivieren
 Den Maschenfilter in einen Filterrahmen mit Archivierungskarte (17)
archivieren und mit den entsprechenden Entnahmedaten auf der
Rückseite beschriften.
Bei einer Partikelsaugextraktion ohne Zykloneinheit erfolgt die Analyse
ausschließlich durch die Auswertung des Maschenfilters.
17
33/60
Stand 27.07.2020 / Version 1.0

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Diese Anleitung auch für:

Cps26003017

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