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5.2. Partikelfalle anbringen oder wechseln
13
Ggf. Partikelsammelglas abschrauben und Adapter (13) für Partikelfalle
einschrauben.
Partikelfalle (14) auf den Adapter (13) aufstecken.
Partikelfalle (14) nach der Extraktion nach unten abziehen, mit Deckel
verschließen und mit den entsprechenden Entnahmedaten beschriften.
Die Partikelfalle anschließend mikroskopisch analysieren.
Partikelsaugextraktionssystem Art-Nr.: 6003490
Um mögliche Schäden an den beprobten ESDS zu vermeiden, diese
während der Durchführung von Arbeiten am C|PS²-Systems ESD-
geschützt verpacken oder das C|PS²-Systems aus der EPA-Umgebung
entfernen.
Bei weniger starker Verschmutzung kann von der Zykloneinheit auch
direkt auf die Partikelfalle extrahiert werden
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Partikelsaugextraktionsvorgang
14
Partikelfalle anbringen
Stand 27.07.2020 / Version 1.0
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