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Partikelsaugextraktion Ohne Zykloneinheit - CleanControlling CPS2 ESD Bedienungsanleitung

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Beschreibung

2.2. Partikelsaugextraktion ohne Zykloneinheit

Die Partikel werden direkt über die Filtereinheit abgesaugt und mittels speziellen
Analysefilter (>5µm) aus dem Luftstrom abgeschieden.
Der Analysefilter kann unmittelbar nach der Saugextraktion und evtl.
nachfolgender Aufschwemmung mikroskopisch analysiert werden.
Mit der Aufschwemmeinheit kann die Filterbelegung für die mikroskopische
Analyse präpariert werden (siehe Kapitel 5.4)
Die Saugextraktion direkt über die Filtereinheit bietet sich bei kleinen Flächen mit
geringerer Partikelfracht, zum Beispiel im Prozessumfeld an Werkstückträgern
oder auf Leiterplatten, an.
Die Partikelgewinnung erfolgt schnell, sodass Prozessunterbrechungen minimiert
werden.
Die speziell entwickelte Aufschwemmeinheit ermöglicht die Optimierung einer
homogenen Filterbelegung. Das manuelle Aufschwemmen (siehe Kapitel 5.4)
erfolgt nach der Saugextraktion mit Hilfe eines wässrigen Mediums. Das
Analysefilter kann nach der Trocknung unmittelbar der mikroskopischen Analyse
zugeführt werden.
Bei der Extraktion von höherem Partikelaufkommen ist die Verwendung der Auf-
schwemmeinheit auch als Filterkaskade (z.B. 5 µm / 60 µm) möglich.
Partikelsaugextraktionssystem Art-Nr.: 6003490
Funktionsprinzip Variante B: Partikelsaugextraktion ohne Zykloneinheit
13/60
Stand 27.07.2020 / Version 1.0

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Diese Anleitung auch für:

Cps26003017

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