CleanControlling CPS2 ESD Bedienungsanleitung Seite 24

Inbetriebnahme
32
21b
 Stromkabel (21) auf die Halterung (22) aufwickeln.
 Erdungsleitung (32) ebenfalls durch Austrittsöffnung (21b) des ESD-Wagens
durchziehen.
Partikelsaugextraktionssystem Art-Nr.: 6003490
Kabel aufwickeln
23/60 Stand 27.07.2020 / Version 1.0
22
1
21a