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2.3.7
Verfahrrichtung des Messtischs prüfen
(1) Setzen Sie das schwächste Objektiv ein und wählen Sie die passende Kondensorlinse.
(2) Legen Sie ein Referenzwerkstück (Referenzbild) auf den Messtisch und projizieren Sie das
Bild auf den Bildschirm.
(3) Richten Sie die Referenzlinie des Bildschirms auf „0" aus.
(4) Verfahren Sie den Messtisch entlang der Y-Achse (vorwärts und rückwärts) und richten Sie
die Kante des Referenzwerkstücks an der horizontalen Fadenkreuzlinie aus.
(5) Verfahren Sie den Messtisch entlang der X-Achse (nach links und nach rechts) und
kontrollieren Sie, ob die Kante des Referenzwerkstücks über die gesamte Länge des
X-Achsen-Verfahrbereichs an der horizontalen Fadenkreuzlinie ausgerichtet ist.
Falls die Kante des Referenzwerkstücks nicht korrekt ausgerichtet ist:
(1) Lösen Sie die Befestigungsschrauben des Messtischs, bis sie nur leicht angezogen sind.
(2) Kippen Sie dann den Messtisch vorsichtig, so dass das Referenzwerkstück nicht von der
horizontalen Fadenkreuzlinie auf dem Bildschirm abweicht, während Sie den Messtisch in
X-Achsen-Richtung verfahren.
(3) Wenn Sie die Position korrekt eingestellt haben, ziehen Sie die Schrauben des Messtischs
wieder fest an.
Referenzlinie
"0"-Linie
2-12
Messtisch
Fadenkreuz auf dem Bildschirm
Referenzwerkstück
Nr. 99MBA225D
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