VORSICHT: Mögliche Schäden am System. Lassen Sie nichts in den Ionenquellenablauf
fallen, wenn die Ionenquelle entfernt wurde.
Abbildung 10-2 Ionenquellenablauf an der Vakuum-Schnittstelle
1. Deaktivieren Sie das Hardware-Profil.
2. Entfernen Sie die Ionenquelle. Siehe das Ionenquellen-Bedienerhandbuch.
Lagern Sie die Ionenquelle bei Nichtgebrauch zum Schutz vor Beschädigung und zum Erhalt der
Betriebsbereitschaft an einem sicheren Ort.
Reinigung der Curtain-Platte
VORSICHT: Mögliche Schäden am System. Legen Sie die Curtain-Platte oder die
Orifice-Platte nicht auf der Öffnungsspitze ab. Achten Sie darauf, dass die konische
Seite der Curtain-Platte nach oben zeigt.
VORSICHT: Mögliche Schäden am System. Um eine Beschädigung der Öffnung zu
vermeiden, stecken Sie keinen Draht und keine Metallbürste in die Öffnung von
Curtain-Platte, Orifice-Platte oder Schnittstellenheizer.
1. Ziehen Sie die Curtain-Platte von der Vakuum-Schnittstelle ab und legen Sie sie mit der konischen Seite
nach oben auf eine saubere und stabile Oberfläche.
Hinweis: Wenn die Nanozellenheizerbaugruppe installiert ist, befolgen Sie die Anweisungen im
Bedienerhandbuch der Ionenquelle für den Ausbau und die Reinigung.
Systemhandbuch
RUO-IDV-05-8593-DE-B
Service- und Wartungsinformationen
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