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Abicor Binzel EWR 2 Betriebsanleitung Seite 90

Gas-management-system
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13 Annexe
Nom
Oxysulfure de carbone
Ozone
Pentafluoroéthane
Pentafluorure de brome
Pentafluorure de phosphore
Pentane
Perfluorocyclobutane
Phosgène
Phosphine
Propadiène
Propane
Propène
Propyne
Protoxyde d'azote
Séléniure d'hydrogène
Silane
Sulfure d'hydrogène
Tétrachlorométhane
Tétrachlorure de silicium
Tétrafluoroéthylène
Tétrafluorohydrazine
Tétrafluorure de carbone
Tétrafluorure de silicium
Tétrafluorure de soufre
Trichlorofluorométhane
Trichlorosilane
Trichlorure de bore
Trifluoroéthylène de brome
Trifluorométhane
Trifluorure d'azote
Trifluorure de bore
Trifluorure de brome
Trifluorure de chlore
Trifluorure de phosphore
Trihydrure d'arsenic
Triméthylamine
Trioxyde de diazote
Trioxyde de soufre
Vapeur d'eau
Vinyl bromide
Vinyl fluoride
Xénon
(Z)-but-2-ène
Tab. 37
Tableau de conversion
FR - 30
Abréviation
COS
O3
C2HF5
BrF5
PF5
C5H12
C4F8
COCl2
PH3
C3H4
C3H8
C3H6
C3H4
N2O
H2Se
SiH4
H2S
CCl4
SiCl4
C2F4
N2F4
CF4
SiF4
SF4
CCl3F
SiHCl3
BCl3
C2BrF3
CHF3
NF3
BF3
BrF3
ClF3
PF3
AsH3
C3H9N
N2O3
SO3
H2O
C2H3Br
C2H3F
Xe
C4H8
EWR 2 / EWR 2 Net
Facteur
0,689
0,775
0,491
0,407
0,477
0,634
0,371
0,541
0,919
0,840
0,802
0,822
0,841
0,809
0,594
0,947
0,917
0,434
0,413
0,535
0,529
0,572
0,525
0,518
0,459
0,463
0,497
0,425
0,640
0,637
0,652
0,460
0,560
0,575
0,606
0,700
0,618
0,601
1,268
0,521
0,788
0,468
0,719
BAL.0661.0 • 2018-11-19

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