Transmitter-Installation (Mechanisch); Bestimmungsgemäßer Gebrauch; Nicht Bestimmungsgemäßer Gebrauch; Prozesskompatibilität - LEYBOLD TTR 91 N Gebrauchsanleitung

3 Transmitter-Installation (mechanisch)

3.1 Bestimmungsgemäßer Gebrauch
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Der Transmitter ist zum Messen von Druck bestimmt.
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Der Transmitter sind zum Einsatz in sauberen Umgebungen bestimmt.
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Der Transmitter darf nicht für andere als in der Anleitung beschriebene Messungen verwendet werden.
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Stellen Sie immer sicher, dass alle Vakuumdichtungselemente und Oberflächen sauber, ohne Schäden
und frei von Partikeln sind.
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Verwenden Sie ein Kabel mit Zugentlastung, um eine korrekte elektrische Verbindung sicherzustellen und
die Belastung an den Steckern zu reduzieren.
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Verwenden Sie ein geflochtenes, abgeschirmtes Kabel, um die Vorschriften in Bezug auf Störfestigkeit
nach EN 61326-1 zu erfüllen.
3.2 Nicht bestimmungsgemäßer Gebrauch
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Der Transmitter darf ausschließlich für in diesem Handbuch beschriebene Messungen verwendet werden.
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Der Transmitter ist nicht für den Einsatz in verschmutzten und korrosiven Umgebungen bestimmt.
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Verwenden Sie den Transmitter nicht in Gegenwart entzündlicher Gase oder in anderen
explosionsgefährdeten Umgebungen.
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Installieren Sie nur originale Leybold Ersatz-und Zubehörteile. Führen Sie keine unautorisierten
Modifikationen am Instrument durch.
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Der Transmitter ist nicht für einen Einsatz über dem maximal zulässigen Druck bestimmt.
3.3 Prozesskompatibilität
Die Transmitter TTR 91 N und TTR 96 N sind zum Einsatz in sauberen
Umgebungen bestimmt. Die Transmitter können nicht in korrosiven Umgebungen
wie z.B. Halbleiterätzkammern verwendet werden, in denen aggressive Gase wie
z.B. Beispiel Fluor eingesetzt werden. Die mit Parylene-HT® beschichteten
Sensoren (Kat.-Nr.: 230045V02, 230047V02) bieten eine verbesserte
Korrosionsbeständigkeit. Die Parylene-HT®-Beschichtung kann beeinträchtigt
werden, wenn sie längere Zeit aggressiven Umgebungen ausgesetzt wird, oder in
hochkonzentrierten korrosiven Umgebungen zum Einsatz kommt. Darüber hinaus
beschädigen Umgebungen zum Abtragen von Parylene-HT®, z. B. jedes
Sauerstoffplasma ist reaktiv, mit der Zeit ebenfalls den Sensor.
Wenn der Transmitter in der Nähe einer Gasquelle positioniert wird, z. B. einem
Durchflussregler oder einem Dosierventil, kann das Druckmessergebnis des
Transmitters höher als der tatsächliche Druck in der Kammer sein. Eine
Positionierung in der Nähe eines Pumpensystemanschlusses kann ein niedrigeres
Druckmessergebnis als der tatsächliche Kammerdruck zur Folge haben.
Die Transmitter können aufgrund ihres Sensordesigns in beliebiger Orientierung montiert werden, ohne die
Messunsicherheit zu beeinflussen. Es wird jedoch nicht empfohlen, die Transmitter überkopf stehend zu
montieren, da Staub und Schmutz in den Sensor fallen könnten.
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Verwenden oder installieren Sie den Transmitter nicht unter den folgenden Bedingungen:
- Temperaturen unter 0 °C oder über 40 °C
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- Korrosive oder explosive Gase
- Direkte Sonneneinstrahlung oder andere Wärmequellen
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Vorsicht
300544652_001_C1 - 11/2016 - © Leybold
!
Not recommended