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7 Betrieb des Geräts
Der Bildschirm Time mode (Zeitmodus)
Vor dem Drücken der Schaltfläche START zeigt der Bildschirm die gesamte Prozesszeit und die Zeit
pro Stufe an. Bei Bedarf können Sie die Zeit einer Stufe bearbeiten. Siehe
Nach Beginn der Präparation wird auf dem Bildschirm die verbleibende Zeit angezeigt.
7.5.3
Removal mode (Abtragsmodus)
Wenn Sie regelmäßig aufeinanderfolgende Schichten einer Probe überprüfen, trägt Removal mode
(Abtragsmodus) die Schichten mit einer Genauigkeit von +/- 5 µm ab und stoppt automatisch, wenn der
Wert erreicht ist.
Sie müssen den Abtragswert manuell als Gesamtabtragswert im Bildschirm Process (Prozess) von
TargetMaster eingeben. Siehe
Verwenden von Removal mode (Abtragsmodus)
Wenn Sie eine Methode von Struers oder eine benutzerdefinierte Methode auf der Grundlage des
Removal mode (Abtragsmodus) gewählt haben, zeigt der Bildschirm den Gesamtabtragswert und den
Abtragswert jeder Stufe an.
Vor Beginn des Prozesses können Sie die Abtragswerte durch Wählen des jeweiligen Werts
bearbeiten.
Sobald der Prozess gestartet ist, zeigt der Bildschirm die Menge an Material an, die noch abgetragen
werden muss.
Entfernen dünner Schichten im Removal mode (Abtragsmodus)
Um ein hohes Maß an Sicherheit zu erhalten, was bei der Arbeit mit dünnen Probenschichten
erforderlich ist, können Sie Drehzahl und Andruckkraft verringern. Werden die Einbettungen direkt in
TargetGrip eingespannt sind, verringern Sie die Drehzahl.
Bei der Untersuchung des Schichtaufbaus von Chips verringern Sie die Drehzahl auf ein Minimum und
die Andruckkraft um 25–50 %. Erhöhen Sie die Werte für die anfängliche Abtragsrate um 25–50 %. Bei
Bedarf können Sie diese Werte senken.
Verwenden von TargetX/TargetZ mit Removal mode (Abtragsmodus)
Wenn Sie die Schichtdicke nicht kennen, können Sie mit TargetZ oder TargetX die Dicke der zu
abzutragenden Schicht bestimmen.
1.
Achten Sie darauf, dass die Probe korrekt in TargetGrip eingesetzt ist. Der Zielbereich sollte
möglichst parallel zur Referenzebene liegen.
2.
Richten Sie die äußerste Kante der Probenaufnahme auf dem Bildschirm der
Konfigurationsstation am vertikalen Fadenkreuz aus. Setzen Sie die Einstellung auf Null. Dies ist
der Startreferenzpunkt.
3.
Verfahren Sie die Probe mithilfe der Bedienelemente der Konfigurationsstation, bis das
Fadenkreuz am Zielbereich ausgerichtet ist.
4.
Die Differenz zwischen dem ersten Messwert (0) und diesem Wert ist der Abtragswert. Dies ist
die Menge an Material, die während des Präparationsprozesses mit TargetMaster abgetragen
werden soll.
36
Werte manuell eingeben
Abtragstufe bearbeiten
►33.
►31.
TargetDoser
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