障害の解消
10
障害/故障
装置をオンにできない、または動
作中にプラズマが消える
操作中にプラズマが消え、装置が
複数の短い可聴信号を発する。
ディスプレイに以下が表示され
る:
「Plasma-failure(プラズマエラ
ー)」
上記と同様で、ディスプレイに次
の表示がある:「Fan-failure(フ
ァンエラー)」
上記と同様で、ディスプレイに次
の表示がある:「overheated(オ
ーバーヒート)」
ディスプレイに次のエラーメッセ
ージがある:
「No module inserted(モジュール
が挿入されていない)」
ディスプレイに次のエラーメッセ
ージがある:
「invalid module inserted(無効な
モジュールが挿入されている)」
操作中にディスプレイが消える。
これらの手順で問題が解決しない場合は、relyon plasma GmbH までお問い合わせくださ
い。
BA-PZ3_ML / F0354403
原因
電源が故障している。
電源ヒューズが作動した。
電源コネクタが正しく接触して
いない。
電源コネクタが故障している。
内部故障の発生
ピエゾ素子が壊れています。交
換モジュールの交換が必要。
過熱による遮断
装置が許容動作周波数を見つけ
られない。
「標準」交換モジュールなど
で、導電性母材にフラッシュオ
ーバーが発生した。
「近接」モジュールなどに対し
て十分な近さに導電性母材がな
い。
ファンが故障している。
装置内部が許容できないほど高
温である。
交換モジュールが検出されなか
った。
使用されているモジュールは、
装置と互換性がない。
例えば、近接モジュールと特定
のプロセスパラメータを使用し
て操作する場合、ディスプレイ
が誤作動を起こすことがある。
このことによるプラズマプロセ
スへの影響はない。
除去
電源を確認してください。
電源ヒューズを確認してください。
電源コネクタがしっかり接続されてい
るか確認します。
電源コネクタを交換します。
装置をオフに切り換えます。電源を入
れ直します。
故障したモジュールを取り外し、新し
いモジュールを挿入します。
装置を冷まします。空気入口が覆われ
ていないことを確認し、十分な外気を
取り入れることができるようにしてく
ださい。
ピエゾ素子が壊れています。故障した
モジュールを取り外し、新しいモジュ
ールを挿入します。
「近接」モジュールといった、母材に
適したモジュールを使用してください
母材までの距離を縮めるか、「標準」
モジュールのような母材に適したモジ
ュールを使用してください
カスタマーサービスにご連絡くださ
い。
装置を冷まします。処理中に空気入口
やノズル出口が覆われていないか確認
してください。
交換モジュールが装置の十分に奥深く
で固定されているか確認してくださ
い。
必要であれば、交換モジュールを取り
外して再度挿入してください。
場合によっては新しい交換モジュール
を挿入してください。
カスタマーサービスにご連絡くださ
い。
装置を電源ユニットから切り離し、約
10 秒後に再接続します。
119