注意 - 装置の損傷!
本装置は、空気供給なしで作動させると損傷する恐れがあります。
それにより動作中に必要な冷却媒体の流れが中断されることになります。
操作中は、空気口やノズル出口を絶対に覆わないでください。
導電性の物体が装置前面 3 分の 1 の領域で 60mm よりも近くにあると、装置が損傷する
場合があります。
例外: 例えば「近接」モジュールといった、近接距離での作業を想定したモジュールを使
用していて、母材が交換モジュールの前にある場合。
2 台目の装置を上記より近くに置いたり、ノズル出口の真向かいに置いたりしないでくだ
さい。
- 装置内にほこり、特に金属/導電性のほこりが入らないようにしてください。これは、
操作中およびアイドル状態の両方に当てはまります。
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注意事項!
特定の状況下では、装置の前で発生する電界により、敏感な電子部品が損傷する場合が
あります。ご使用のアプリケーションの部品がプラズマプロセスの影響を受けないこと
を確認してください。
BA-PZ3_ML / F0354403
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