Edwards CP25 Betriebsanleitung

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CP25K

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Betriebsanleitung

CP25 Penning-Manometerköpfe

D145-37-882

Ausgabe H

Bestellnummer

D145-37-000

D145-41-000

D145-36-000

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Inhaltszusammenfassung für Edwards CP25

Seite 1 D145-37-882 Ausgabe H Betriebsanleitung CP25 Penning-Manometerköpfe Beschreibung Bestellnummer CP25K D145-37-000 CP25EK D145-41-000 CP25KP D145-36-000...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Vor der Rücksendung von Produkten füllen Sie bitte die am Ende dieses Handbuchs befindlichen HS-Formulare aus. Abbildungen Abbildung Seite Auseinandergezogene Darstellung des CP25 Penning-Manometerkopfes ........8 Ausgabegraph des Penning-Modul-Messschreibers ..............9 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4: Titel Der Veröffentlichung
D145-37-882 Ausgabe H Entsprechende Veröffentlichungen Titel der Veröffentlichung Nummer der Veröffentlichung Sicherheit von Vakuumpumpen und Vakuumsystemen P300-20-000 Seite ii © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5: Einleitung
Einleitung Umfang und Definitionen Dieses Handbuch enthält Anweisungen für die Installation, den Betrieb und die routinemäßige Wartung von Edwards CP25 Penning-Manometerköpfen. Der CP25 darf nur so, wie in der Betriebsanleitung angegeben, verwendet werden. Vor der Installation und Inbetriebnahme des CP25 muss diese Betriebsanleitung gelesen werden. Wichtige Sicherheitshinweise sind unter WARNUNG bzw.
Seite 6 Beschädigung der Anode durch Zerstäubung führen kann. Hinweis: Die Manometerkopfausgabe hängt von der Zusammensetzung des Systemgases ab. Edwards Steuergeräte sind für Luft/Stickstoff kalibriert. Seite 2 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Seite 7: Technische Daten
800 g Vakuumanschluss NW25 Elektrische Daten Betriebsspannung + 2300V bei 0,7 mA Dem Vakuum ausgesetzte Materialien Edelstahl AISI 304,347, 321,302 Natronkalkbariumglas Fluorelastomer © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 9: Installation
Anschluss an das Vakuumsystem Die Manometerköpfe enden in NW25 Flanschen. Um sie an ein Abzweigungsrohr anzuschließen, das in einem NW25 Flansch endet, sind ein Zentrierring (mit O-Ring) und eine Schelle erforderlich. Die Edwards Produktkennzeichen für diese Posten finden Sie in Abschnitt Anschluss an das Steuergerät...
Seite 11: Betrieb
Das Manometer darf nicht betrieben werden, wenn es nicht an das Vakuumsystem angeschlossen ist, da innen im Manometerrohr hohe Spannungen (3 kV) auftreten. WARNUNG Der CP25 Manometerkopf enthält Magneten. Von Herzschrittmachern, Computern, Kreditkarten und allen anderen magnetisch empfindlichen Geräten fern halten. VORSICHT Der Penning-Manometerkopf darf nicht für längere Zeit bei einem Druck von mehr als 10...
Seite 12: Manometerkopf-Konstruktion
Mutterhalteschrauben Erdungskappen-Baugruppe Anoden-Baugruppe O-Ring Messschreiber-Ausgabe Abbildung 2 zeigt einen Graph, der die Druckabhängigkeit der Messschreiber-Ausgabe des Edwards Penning-Moduls der 1000/1700/2000 Serien darstellt. Seite 8 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13: Ausgabegraph Des Penning-Modul-Messschreibers
0.102 3.0 x 10 0.078 2.0 x 10 0.051 1.0 x 10 0.027 5.0 x 10 0.012 0.0 x 10 0.000 1.00E-07 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 15: Wartung
Alle gereinigten Bauteile in drei- bis viermal zu wechselndem reinen Aceton oder einem organischen Markenlösungsmittel waschen und völlig trocknen lassen. Nach der Reinigung dürfen die Bauteile nur mit sauberen Werkzeugen gehandhabt werden. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 16: Wiederzusammenbau
Verunreinigung Elektroden reinigen Messgerät zeigt bei allen Kurzschluss Auf Kurzschluss zwischen Anode und Katode und Drucken Vollausschlag zwischen Steckverbindern am Kabel kontrollieren. Seite 12 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Markenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Lagerung Und Entsorgung
über Elektro- und Elektronik-Altgeräte. Ab August 2005 bietet Edwards seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für das Produkt, die Kabel und die zugehörigen Messröhren am Ende seiner/ihrer Lebensdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Produkte, Kabel und Ionisations-Messröhren beachten müssen.
Seite 19: Ersatzteile Und Zubehör
Ersatzteile und Zubehör Einführung Edwards Produkte, Ersatzteile und Zubehör sind über Edwards Niederlassungen in Belgien, Brasilien, Kanada, Frankreich, Deutschland, Großbritannien, Hongkong, Italien, Korea, Japan, der Schweiz und den USA sowie über ein weltweites Netz von Vertriebshändlern erhältlich. Die meisten dieser Unternehmen beschäftigen Kundendiensttechniker, die an umfassenden Edwards Schulungskursen teilgenommen haben.
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Seite 23: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst
Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der...
Seite 24 edwardsvacuum.com...

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