Verwandte Anleitungen für Edwards AIGX-S-NW25
Inhaltszusammenfassung für Edwards AIGX-S-NW25
- Seite 1 D048-50-882 Issue E Betriebsanleitung Aktiv-Ionisations-Messröhre Beschreibung Bestellnummer AIGX-S-NW25 D048-50-000 AIGX-S-DN16CF D048-51-000 AIGX-S-DN40CF D048-52-000 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards Limited Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, Aktiv-Ionisations-Messröhre... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Austausch der Röhre ....................17 Austausch der internen Sicherung ..................18 Kalibrierungsservice ....................18 Lagerung und Entsorgung ..............21 Lagerung ......................... 21 Entsorgung ....................... 21 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 4 Warenzeichen der HAM-LET Group. Swagelok™ ist ein Warenzeichen der Crawford Fitting Company. Viton™ ist ein Warenzeichen von DuPont Dow Elastomers L.L.C. Seite ii © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 5: Einführung
Umfang Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Aktiv-Ionisations-Messröhre (AIGX) von Edwards. Die AIGX muss gemäß den Angaben in dieser Anleitung verwendet werden. Lesen Sie sich diese Betriebsanleitung vor Installation und Betrieb der AIGX durch. Wichtige Sicherheitsangaben werden durch WARNUNGS- und VORSICHTS-Anweisungen hervorgehoben; diesen Anweisungen ist Folge zu leisten. -
Seite 6: Allgemeine Ansicht Der Aigx (Dn25Kf-Version)
1, Ziffer 4). Diese zeigt den Betriebsstatus der Messröhre an. Abbildung 1 - Allgemeine Ansicht der AIGX (DN25KF-Version) Elektrischer Anschluss Heizfaden-Auswahlschalter Trip-Schalter Status-LED Vakuumanschluss Seite 2 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 7: Technische Daten
2.3.2 Ausgangssignal Messbereich 0,7 V bis 8,7 V Messröhre deaktiviert 9,0 V Emission Error 9,5 V Überdruckauslösung 9,7 V Mindestlastimpedanz 10 kW © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 8: Messröhren- Und Entgasungsaktivierung
Elektroden Emissionsstrom Normal 0,1 oder 1 mA Entgasen 10 mA Gitterspannung Normal 180 V Entgasen 500 V Heizfaden-Vorspannung + 30 V Kollektorspannung Seite 4 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 9: Werkstoffe Im Vakuum
Körper Edelstahl Durchführung Edelstahl, UHV-kompatibles Glas/Keramik Abbildung 2 - Abmessungen (mm) Abm. A NW25 85 mm DN16CF 106 mm DN40CF 98 mm © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 10 D048-50-882 Issue E Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 6 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 11: Installation
Ausschalten des Prozesssystems. 3.3.1 Anschluss an Edwards-Controller Schließen Sie die AIGX an den Controller oder das Display mit einem Kabel an, das über die geeigneten Stecker verfügt. Geeignete Kabel können bei Edwards angefordert werden. Siehe Abschnitt 7.3. Hinweis: Ihr Controller muss über eine Softwareversion verfügen, die mit der AIGX kompatibel ist. Wenn das Controllerdisplay beim Anschluss der AIGX „???“... -
Seite 12: Anschluss An Ihre Eigene Stromversorgung Und Steuereinrichtung
Schließen Sie die Stromversorgung (gemeinsam) (Pin 2) nicht an das Signal (gemeinsam) (Pin 5) an. Andernfalls erhalten Sie ein inkorrektes Druckausgangssignal der AIGX. Ein Schaltplan der empfohlenen elektrischen Anschlüsse der AIGX ist in Abbildung 3 gezeigt. Seite 8 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 13: Schaltplan Der Empfohlenen Elektrischen Anschlüsse
Entgasungsfunktion zu aktivieren und zu deaktivieren. Anschluss(buchse) der APGX Kabelanschlussstecker Aktivierungsschalter der Entgasungsfunktion Aktivierungsschalter der Messröhre Hintere EMV-Unterdrückungsdiode (optional) DC-Relais (optional) Ansicht des AIGX-Anschlusses © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 14: Maximale Kabellänge
(gemeinsam)) kann bei langen Kabeln aufgrund des Spannungsabfalls im Stromversorgungskabel bis zu 2,5 V betragen. Stellen Sie sicher, dass die Messung der Signalspannung korrekt funktioniert. Seite 10 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 15: Betrieb
P = 10 wobei V die gemessene Spannung ist. Siehe Abbildung 4. Diese Formel gilt für den Bereich von 0,7 bis 8,7 V. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 16: Kalibrierung Für Unterschiedliche Gase
Die nachfolgende Tabelle listet die Gaskalibrierungsfaktoren für die am häufigsten verwendeten Gase auf. Tabelle 3 - Gaskalibrierungsfaktoren für verschiedene Gase Helium Argon 0,75 Neon Krypton Xenon 0,35 Schwefelwasserstoff Sauerstoff Kohlenmonoxid 1,15 Kohlendioxid Seite 12 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 17: Emissionsstrom
Status Messröhre ohne Stromversorgung oder Funktionsstörung Gelb Stromversorgung eingeschaltet, Messröhre deaktiviert Grün/Gelb (abwechselnd) Emissionsanlauf Grün Emission an Grün (langsam blinkend) Entgasung an © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 18: Einstellung Des Schaltpunkts
Abschnitt 5.2 zum Abnehmen und erneuten Anbringen des Elektronikgehäuses. Achten Sie darauf, dass die Röhre abgekühlt ist, bevor Sie das Elektronikgehäuse wieder anbringen. Seite 14 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 19: Trennen Des Elektronikgehäuses Von Der Röhre
D048-50-882 Issue E Abbildung 5 - Trennen des Elektronikgehäuses von der Röhre Gehäuse Befestigungsschrauben Messrohr-Baugruppe Rastnasen © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 20 D048-50-882 Issue E Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 16 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 21: Wartung
Elektronikgehäuse (Ziffer 1) ausgerichtet sind. Beachten Sie: Das Elektronikgehäuse (Ziffer 1) passt nur in einer Richtung in die Messrohr-Baugruppe (Ziffer 3). 7. Bringen Sie die beiden M3-Schrauben wieder an den Seiten der AIGX an. © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 22: Austausch Der Internen Sicherung
Ersatzschrauben sind bei Edwards erhältlich. Siehe Abschnitt 7.2. Kalibrierungsservice Für alle Edwards-Messröhren ist ein Kalibrierungsservice verfügbar. Die Kalibrierung geschieht im Vergleich mit Referenzmessröhren gemäß landesweit gültigen Standards. Für weitere Einzelheiten wenden Sie sich bitte an Edwards. Seite 18 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 23: Austausch Der Sicherung
D048-50-882 Issue E Abbildung 6 - Austausch der Sicherung Sicherungshalter Ummantelte Erdungsbuchse © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 24 D048-50-882 Issue E Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 20 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 25: Lagerung Und Entsorgung
Ab August 2005 bietet Edwards seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für die AIGX und die Kabel am Ende ihrer Lebensdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, wie Sie die AIGX und/oder die Kabel zur Wiederaufbereitung zurücksenden können. - Seite 26 D048-50-882 Issue E Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 22 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 27: Ersatzteile Und Zubehör
Bestellungen sind folgende Angaben erforderlich: Modell und Bestellnummer der Anlage Seriennummer Ersatzteile Siehe Ersatzteilhandbuch. Ersatzteile Nachfolgend finden Sie eine Liste des Zubehörs, das bei Edwards bestellt werden kann. Beschreibung Bestellnummer Gehäuse AIGX-S D048-50-800 Röhren NW25 D048-50-801 DN16CF... - Seite 28 C100-01-270 Satz Sechskantmuttern, Schrauben und Unterlegscheiben - DN16CF C100-01-630 Geglühte Kupferdichtung - DN40CF C100-05-270 Satz Sechskantmuttern, Schrauben und Unterlegscheiben - DN40CF C100-05-630 Seite 24 © Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 31: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst
Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der... - Seite 32 edwardsvacuum.com...