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Pfeiffer Vacuum GES 010 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum GES 010 Betriebsanleitung

Gaseinlass-system
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Betriebsanleitung
inkl. Konformitätserklärung
Gaseinlass-System
GES 010
1
BP 5001 BD
(2008-04)
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum GES 010

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum GES 010

  • Seite 1 Betriebsanleitung inkl. Konformitätserklärung Gaseinlass-System GES 010 BP 5001 BD (2008-04)

  • Seite 2: Gültigkeit

    Sie finden die Artikelnummer (No) auf der Verpackung. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. Alle Massangaben in mm. Bestimmungsgemässer Das Gaseinlass-System GES 010 dient dem ent- mischungsfreien Einlass von Gasgemischen in einen Gebrauch Hochvakuum-Prozessraum oder eine Massenspektrometer-Ionenquelle (Einlassdruck ≈1000 mbar).

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Gültigkeit Bestimmungsgemässer Gebrauch Lieferumfang 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 2 Funktion 2.1 Anwendung 2.2 Wirkungsweise und Auslegung 3 Technische Daten 4 Einbau 4.1 Vakuumanschlüsse erstellen 4.2 Kapillare anschliessen 4.3 Kontrolle 4.4 Elektrische Anschlüsse erstellen 4.4.1 Anschliessen der Heizungen in...
  • Seite 4 Kontaminationserklärung Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ verwendet. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...

  • Seite 5: Sicherheit

    1 Sicherheit 1.1 Verwendete GEFAHR Symbole Angaben zur Verhütung von Personenschäden jegli- cher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbe- achten kann zu Störungen oder geringfügigen Sach- schäden führen. 1.2 Personal- qualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten...

  • Seite 6: Grundlegende Sicherheitsvermerke

    Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. 1.4 Verantwortung und Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen •...

  • Seite 7: Funktion

    2 Funktion 2.1 Anwendung Ein Gasgemisch liegt bei einem Druck von ≈1000 mbar vor und soll entmischungsfrei auf einen Druck von <10 mbar reduziert werden. Eine der Hauptanwendungen findet sich in der Massen- spektrometrie, wenn Gasgemische bei Atmosphären- druck analysiert werden sollen. Ausserdem soll möglichst vermieden werden, dass im Gas enthaltene Komponenten im Ventil kondensieren.
  • Seite 8 Die am Hochvakuumrezipienten installierte Pumpe 1 sollte ein Saugvermögen von ≈200 l/s aufweisen. Bei wesentlich kleinerem Saugvermögen muss ein anderer Poralfilter eingesetzt werden (→ 26, 37). Da das Gas sowohl molekular in den Rezipienten ein- strömt als auch molekular wieder abgepumpt wird, kom- pensieren sich beide Effekte.

  • Seite 9: Technische Daten

    3 Technische Daten Betätigungsart Manuell, Handrad Einlassdruck ≤1000 mbar Druck auf der Hochvakuumseite ≤10 mbar Leitwert (für Luft, 20 °C) mit Poralfilter 1.26×10 Kapillaren Material Edelstahl Innendurchmesser 0.18 mm (Standard) 0.25 mm (Option, → 1/16" Aussendurchmesser 1000 mm Länge Gasverbrauch (für Luft, 20 °C) 4.5 cm /min.
  • Seite 10 Abmessungen [mm] DN 10/16 KF DN 10 KF (40) 1000 DN 40 CF-F 1.8 kg Ventil GEV 010 Gewicht (ohne Kapillare und Drosselleitung) 0.07 kg Kapillare BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...

  • Seite 11: Einbau

    4 Einbau GEFAHR Bei sichtbaren Beschädigungen kann die Inbetriebnahme des Produkts lebensge- fährlich sein. Beschädigtes Produkt nicht in Betrieb nehmen und gegen unabsichtlichen Betrieb sichern. GEFAHR GEFAHR: Heisse Kapillare Im Betrieb wird die Kapillare auf 100 … 200 °C erwärmt. Das Berühren der heissen Oberfläche kann zu Verbrennungen führen.

  • Seite 12: Vakuumanschlüsse Erstellen

    4.1 Vakuumanschlüsse erstellen Gaseinlassventil am Das GEV 010 ist mit einer Transport-Schutz- Hochvakuumrezipiente kappe versehen, welche erst kurz vor dem Ein- n anflanschen bau abgenommen werden soll. Damit wird eine Verschmutzung der Ventilinnenräume vermie- den. Benötigtes Werkzeug • Gabelschlüssel SW 10 Vorgehen Entfernen Sie die Schutzkappe vom DN 40 CF- Flansch.
  • Seite 13 Gaseinlassventil Für den Anschluss an die Vorpumpe weist das Ventil an der Vorpumpe einen DN 10 ISO-KF auf. anschliessen Damit Vibrationen nicht auf die Analysenkammer übertragen werden, empfehlen wir, das GEV 010 über eine flexible Verbindung (Wellschlauch) an die Vorpumpe anzuschliessen.

  • Seite 14: Kapillare Anschliessen

    4.2 Kapillare anschliessen Kapillare am Gaseinlassventil anschliessen Benötigtes Wekzeug • Gabelschlüssel SW 17 Vorgehen Drehen Sie die Hutmutter vom Ventilkörper los. Schieben Sie Hutmutter, Metallhülse und Teflondichtung in der dargestellten Weise über die Kapillare. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 15 Schieben Sie die Kapillare ca. 40 mm in den Ventilkörper ein. Ziehen Sie mit der Hutmutter vorsichtig die Metall- hülse und die Teflondichtung soweit fest, bis die Kapillare mit der Teflondichtung sicher geklemmt wird. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...

  • Seite 16: Kontrolle

    Die Messstelle muss durch den Betreiber mit einer ge- eigneten 1/16"-Verschaubung versehen werden (z.B. ® Swagelok Wird das GES 010 an einen kontinuierlichen Gasstrom angeschlossen, ist darauf zu achten, dass die Kapillare direkt in den zu analysieren- den Gasstrom hinein ragt (optimaler Messort).

  • Seite 17: Elektrische Anschlüsse Erstellen

    4.4 Elektrische Anschlüsse Die Steuerung muss stromlos sein, bevor eine Verbindung zum Produkt hergestellt oder unter- erstellen brochen wird. Allgemein Zur Messung kondensierender Gase können Ventilkör- per und Kapillare geheizt werden. Heizung Vorsicht Bei Installation der Netzleitung sind die Vor- schriften der VDE 0100 "Bestimmungen über das Errichten von Starkstromanlagen mit Nennspannung unter 1000 V", bzw.

  • Seite 18: Anschliessen Der Heizungen In Parallelschaltung (200 °C)

    Serienschaltung Werden die Heizwiderstände der Kapillare und der Ven- (100 °C) tilheizung in Serie geschaltet, stellt sich eine Ventilkör- per- und Kapillarentemperatur von 100 °C ein. Heizung Ventilkörper 230 VAC Heizung Kapillare 4.4.1 Anschliessen der Der Klemmenblock auf dem Ventilkörper ist ab Heizungen in Werk für diese Betriebsart verdrahtet.
  • Seite 19 Vorgehen Lösen Sie die Schraube 'a' auf der Klemmenblock- abdeckung und ziehen Sie diese ab. Lösen Sie die beiden Schrauben 'b' der Zugent- lastungsklemme und ziehen Sie die Anschluss- kabel 'c' der Kapillarheizung entlang den anderen Heizungskabeln zum Klemmenblock. Der in der Kapillare eingebaute PT 100 Temperaturfühler wird in dieser An- wendung nicht verwendet.

  • Seite 20: Heizung Kapillare

    Klemmen Sie die Anschlussdrähte 'c' der Kapillar- heizung und die mitgelieferte Drahtbrücke gemäss der nachfolgenden Abbildung am Klemmenblock fest. Drahtbrücke Heizung Kapillare Ziehen Sie die Schrauben 'b' der Zugentlastungs- klemme fest, schliessen und verschrauben Sie die Klemmenblockabdeckung (Schraube 'a'). 4.4.2 Anschliessen der Der Klemmenblock auf dem Ventilkörper ist ab Heizungen in Werk für Parallelschaltung verdrahtet.

  • Seite 21: Betrieb

    5 Betrieb GEFAHR GEFAHR: Heisse Oberfläche Das Berühren der heissen Oberfläche (>50 °C) kann zu Verbrennungen führen. Heisse Teile gegen unabsichtliches Berühren schützen und Warnhinweis anbringen. WARNUNG WARNUNG: geschlossener Kapillarenein- lass. Wird bei laufender Vorpumpe der Eingang der Kapillare abgesperrt, reisst die laminare Strömung in der Pumpenleitung ab, Öldampf kann in den Ventilkörper aufsteigen und dort eine Verstopfung von Fritte und Kapillare ver-...

  • Seite 22: Ausheizen

    5.2 Ausheizen Beim Ausheizen des GES 010-Systems ist auf folgendes zu achten: Falls der Rezipient, an den das GES 010 an- gebaut ist, mit einer höheren Temperatur als 200 °C ausgeheizt werden soll, muss vorher die Kapillare und die Teflondichtung vom Ven- tilkörper entfernt werden (→...

  • Seite 23: Ausbau

    6 Ausbau GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Ar- beiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. GEFAHR GEFAHR: Heisse Oberfläche Das Berühren der heissen Oberfläche (>50 °C) kann zu Verbrennungen führen.

  • Seite 24: Elektrische Anschlüsse Trennen

    Die Steuerung muss stromlos sein, bevor eine Anschlüsse Verbindung zum Produkt hergestellt oder unter- trennen brochen wird. Trennen Sie die GES 010-Heizung vom Netz. Öffnen Sie die Klemmenblockabdeckung und lö- sen Sie die Anschlüsse der Kapillaren-Heizung vom Ventil (→ 19/20, Schritte …...

  • Seite 25: Instandhaltung / Instandsetzung

    7 Instandhaltung / Instandsetzung GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Ar- beiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträch-...

  • Seite 26: Reinigen

    7.1 Reinigen GEFAHR GEFAHR: Reinigungsmittel Reinigungsmittel können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die ein- schlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen bezüglich deren Hand- habung und Entsorgung einhalten. Mögliche Reaktionen mit den Produktwerkstoffen (→ 9) berücksichtigen. 7.2 Poralfilter Bei verschmutzter oder verstopfter Fritte ist eine Reini- gung nicht möglich.
  • Seite 27 Vorgehen Demontieren Sie das Ventil vom Hochvakuum- rezipienten. Lösen Sie die Befestigungsschrauben 'd' des An- pressrings 'e'. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 28 Entfernen Sie den Anpressring 'e', die Dichtungen 'f', 'g' und die Fritte 'h'. Infolge des Heizvorganges ist die Dich- tung 'g' möglicherweise fest mit dem Ven- tilkörper verbunden. In diesem Fall wird nur die Dichtung zwischen dem Anpress- ring und der Fritte ersetzt. Versuchen Sie nicht, die Dichtung 'g' ge- waltsam zu entfernen.

  • Seite 29: Austausch Der Ventilsitzdichtung

    7.3 Austausch der Wird der Ventilsitz undicht, muss er ersetzt werden. Ventilsitzdichtung Benötigtes Werkzeug • Spezial-Steckschlüssel (mitgeliefert) • Gabelschlüssel SW 8 • Innensechskantschlüssel SW 3 Benötigtes Material • Wartungssatz Ventilsitz (→ Vorgehen Belüften Sie den Rezipienten. Öffnen Sie das Ventil komplett. Lösen Sie die 6 Schrauben 'i'.
  • Seite 30 Lösen Sie die Schrauben 'k' etwas, um die Klemm- wirkung des Heizmantels zu vermeiden. Ziehen Sie den Ventilantrieb aus dem Ventilblock. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 31 Demontieren Sie den Ventilstempel 'l' mit dem beiliegenden Werkzeug und ersetzen Sie Ihn durch einen neuen. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 32 Ersetzen Sie die Golddrahtdichtung 'm' zwischen dem Ventilantrieb und dem Ventilgehäuse. Montieren Sie den Ventilantrieb wieder in den Ventilblock (Schritte … in umgekehrter Reihenfolge). BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...

  • Seite 33: Optionen

    Umbausatz, bestehend aus: Blende ∅0.01 m BK375579 -T • Gasführungsrohr • Hochvakuumrezipient, passend zum GES 010 und dem verwendeten Massenspektrometer (nicht Teil des Systems, kann auf Anfrage angeboten werden). Vorgehen Zum Umbau empfehlen wir das Tragen von Handschuhen. Demontieren Sie das Ventil vom Hochvakuumrezi- pienten.
  • Seite 34 Bauen Sie das Poralfilter aus indem Sie die 26 ff beschriebenen Schritte durchführen. Nehmen Sie die Blende 'o' aus dem Transportbe- hälter und setzten Sie sie in den Blendenhalter 'n' ein. Klemmen Sie die Blende mit der Klemmschraube 'p' fest. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 35 Setzen Sie den Blendenhalter wieder in den Ven- tilkörper ein. Setzen Sie den Anpressring 'e' wieder ein und ziehen Sie die Schrauben 'd' fest. Schrauben Sie im Anpressring das Gasführungs- rohr 'q' ein und ziehen Sie es fest. BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...

  • Seite 36: Optionale Kapillare, 0.25 Mm Durchmesser

    8.2 Optionale Kapillare, Abhängig vom verwendeten Vorpumpentyp kann eine 0.25 mm Durch- Kapillare mit grösserem Innendurchmesser (∅0.25 mm) vorteilhaft sein. messer Benötigtes Werkzeug • Gabelschlüssel SW 17 Benötigtes Material Bestellnummer Kapillare, Innen-∅0.25 mm, BK353370 -T Aussen-∅1/16", Länge 1000 mm Einbau Einbau und Anschluss der 0.25 mm-Kapillare entspricht der Beschreibung auf 14 ff.

  • Seite 37: Ersatzteile

    9 Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit allen Angaben ge- mäss Typenschild oder Beschreibung und Bestellnum- mer gemäss Ersatzteilliste. Bestellnummer Wartungssatz bestehend aus: 2 Stk. Kapillare-Dichtungen verpackt PT 160 027-T Wartungssatz Poralfilter: 1 Stk. Fritte S ≥100 l/s, 4.5 mbar 2 Stk.

  • Seite 38: Produkt Zurücksenden

    10 Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Pro- dukte Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können Gesundheits- und Umweltschä- den verursachen. Eingesandte Produkte sollen nach Möglich- keit frei von Schadstoffen sein. Versandvor- schriften der beteiligten Länder und Trans- portunternehmen beachten.

  • Seite 39: Produkt Entsorgen

    11 Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbei- ten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die ein- schlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und...

  • Seite 40: Kontaminationserklärung

    Kontaminationserklärung Die Instandhaltung, die Instandsetzung und/oder die Entsorgung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden. Art des Produkts Grund für die Einsendung Ty penbezeichnung...

  • Seite 41: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nachfol- gende Produkt die Konformität zur Niederspannungs- richtlinie 2006/95/EG und zur EMV-Richtlinie 89/336/EWG. Gaseinlass-System Produkt GES 010 Artikelnummer BG 444 530-T Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 50081-1 (EMV Störaussendung) •...
  • Seite 42 Notizen BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 43 Notizen BP 5001 BD (2008-04) GES010.bet...
  • Seite 44 Berliner Strasse 43 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.net bp5001bd...

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