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Turbopumpe läuft nicht an;
grüne LED an der Antriebs-
elektronik blinkt
Turbopumpe erreicht nicht
die Nenndrehzahl innerhalb
der eingestellten Hochlauf-
zeit
Turbopumpe erreicht nicht
den Enddruck
Ungewöhnliche Betriebsge-
räusche
Rote LED an der Antriebs-
elektronik leuchtet
Tab. 12:
● Bei Betrieb ohne Be-
dieneinheit: Pin 2-7
und 5-7 am Anschluss
"X3" sind nicht verbun-
den
● Bei Betrieb über
RS-485: Brücke zwi-
schen Pin 5 und 7 ver-
hindert Stellbefehle
● Bei Betrieb über
RS-485: Parameter in
der Antriebselektronik
sind nicht gesetzt
● Spannungsabfall im Ka-
bel zu hoch
● Vorvakuumdruck zu
hoch
● Leckage an der Turbo-
pumpe
● Gasdurchsatz zu hoch
● Rotor schwergängig,
Lager defekt
● Sollwert Hochlaufzeit
zu niedrig eingestellt
Thermische Belastung
durch:
● mangelnde Belüftung
● Wasserdurchfluss zu
niedrig
● Vorvakuumdruck zu
hoch
● zu hohe Umgebungs-
temperatur
● Turbopumpe ist ver-
schmutzt
● Vakuumkammer, Lei-
tungen oder Turbopum-
pe sind undicht
● Rotorlagerung ist be-
schädigt
● Rotor ist beschädigt
● Splitterschutz oder
Schutzgitter lose
● Sammelfehler
Störungsbehebung bei Turbopumpen
● Verbinden Sie die Anschlüsse gemäß Anschlussplan
der Antriebselektronik.
● Überprüfen Sie die Brücken am Verbindungskabel.
● Entfernen Sie die Brücke am Anschluss "X3".
● Überprüfen Sie das Verbindungskabel.
● Setzen Sie die Parameter [P: 010] und [P: 023] über
die Schnittstelle RS-485 auf 1 = "ON".
● Überprüfen Sie das Verbindungskabel.
● Verwenden Sie ein geeignetes Verbindungskabel.
● Stellen Sie die Eignung der Vorpumpe sicher (gem.
Technische Daten).
● Überprüfen Sie die Funktion der Vorpumpe.
● Führen Sie eine Lecksuche durch.
● Überprüfen Sie Dichtungen und Flanschverbindungen.
● Beseitigen Sie Undichtigkeiten.
● Reduzieren Sie die Prozessgasbelastung.
● Überprüfen Sie die Turbopumpe auf Geräuschentwick-
lung
● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service.
● Verlängern Sie den Sollwert der Hochlaufzeit [P:700]
über ein Steuergerät.
● Reduzieren Sie die thermische Belastung.
─ Gewährleisten Sie ausreichende Luftzufuhr.
─ Stellen Sie den Kühlwasserzufluss ein.
─ Senken Sie den Vorvakuumdruck.
─ Passen Sie die Umgebungsbedingungen an.
● Heizen Sie die Turbopumpe ggf. aus.
● Lassen Sie eine Reinigung durchführen.
● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service.
● Führen Sie eine Lecksuche ausgehend von der Vaku-
umkammer durch.
● Überprüfen Sie Dichtungen und Flanschverbindungen.
● Beseitigen Sie Undichtigkeiten im Vakuumsystem.
● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service.
● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service.
● Überprüfen und korrigieren Sie den Sitz des Splitter-
schutzes oder Schutzgitters im Hochvakuumflansch.
● Beachten Sie die Installationshinweise.
● Setzen Sie den Fehler zurück durch Aus- und Einschal-
ten der Stromversorgung.
● Setzen Sie den Fehler zurück durch V+ an Pin 6 am
Anschluss "X3".
● Setzen Sie den Parameter [P: 009] über die Schnittstel-
le RS-485 auf 1 = Störungsquittierung.
● Setzen Sie den Parameter [P: 010] über die Schnittstel-
le RS-485 auf 0 = Aus und anschließend auf 1 = Ein
und Störungsquittierung.
● Führen Sie eine differenzierte Fehleranalyse mit einem
Steuergerät durch.
● Verständigen Sie den Pfeiffer Vacuum Service.
Störungen
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