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3 Produktbeschreibung
3.1 Funktionsmerkmale
Die Turbopumpe bildet mit der Antriebselektronik und dem integrierten Netzteil eine kompakte Einheit.
Die Turbopumpe ist für die Nachrüstung auf ein Temperatur Management System (TMS) vorbereitet.
Das TMS verhindert kondensierbare Prozessrückstände durch die geregelte Aufheizung des Pumpen-
gehäuses. Das Kühlsystem sorgt für die sichere und ausreichende Wärmeableitung ohne Energiever-
lust beim Heizprozess.
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Abb. 2:
1 Hochvakuumanschluss
2 Ringschrauben
3 Schutzdeckel für Vorvakuumanschluss
4 Schutzdeckel für Hochvakuumanschluss
5 Betriebsmittelpumpe
6 Flutanschluss (Flutschraube G 1/8")
7 Kühlwasseranschluss, Eingang
3.1.1 Kühlung
● Wasserkühlung
Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei Übertemperaturen automatisch herunter.
3.1.2 Rotorlager
Hybridgelagerte Turbopumpe
● Hochvakuumseite: verschleißfreies Permanentmagnetlager
● Vorvakuumseite: Kugellager mit Keramikkugeln
Turbopumpen der hybridgelagerten HiPace Serie verwenden für die Rotorlagerung auf der Vorvakuum-
seite Keramikkugellager. Die Betriebsmittelpumpe sorgt für eine definierte Schmierung und eine dauer-
hafte Funktion der Kugellager.
3.1.3 Antrieb
● Antriebselektronik TC 1200
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Aufbau HiPace 1200 I | IU
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Kühlwasseranschluss, Ausgang
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Vorvakuumanschluss (DN 40 ISO-KF)
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Sperrgasanschluss
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Netzanschluss Antriebselektronik
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Erdungsanschluss
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Antriebselektronik TC 1200
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Temperatursensor
Produktbeschreibung
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