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10 Technische Daten
Pin
6
7
8
9
10
11
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13
14
15
16
17
18
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20
21
22
* Das Zeichen "-" zeigt an, dass der entsprechende Pin nicht belegt ist.
46
Version: 1.1.0
Signal*
Funktion
Bidirektional
Datenleitung für ID-Chip, Kanal 2
-
-
Eingang
Piezospannung +, Kanal 3
Eingang
Piezospannung +, Kanal 2
Eingang
Piezospannung +, Kanal 1
Target-Sensorsignal, Kanal 1
Eingang
(beweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND
Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 2
GND
Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 3
-
-
-
-
GND
Masse von ID-Chip, Kanal 3
Bidirektional
Datenleitung für ID-Chip, Kanal 3
-
-
Eingang
Piezospannung -, Kanal 3
Eingang
Piezospannung -, Kanal 2
Eingang
Piezospannung -, Kanal 1
GND
Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 1
PZ268D
P-616 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
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