Technische Daten; Spezifikationen; Datentabelle - PI P-616 NanoCube Benutzerhandbuch

10 Technische Daten

10 Technische Daten
Änderungen vorbehalten. Die aktuellen Produktspezifikationen finden Sie auf der Seite des
Produkts unter www.pi.de (https://www.pi.de).
In diesem Kapitel

Spezifikationen ............................................................................................................................. 41

Abmessungen............................................................................................................................... 44
Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............................................................................ 45
Pinbelegung ................................................................................................................................. 45
10.1 Spezifikationen
10.1.1

Datentabelle

Bewegung und Positionieren
Aktive Achsen
Stellweg bei -20 bis 120 V, ungeregelt 110 / Achse
Stellweg, geregelt
Auflösung, 1 σ, ungeregelt
Auflösung, 1 σ, geregelt
Linearitätsabweichung
Bidirektionale Wiederholbarkeit, 1 σ,
10 % Stellweg
Bidirektionale Wiederholbarkeit, 1 σ,
100 % Stellweg
Sensor
Sensortyp
Mechanische Eigenschaften
Steifigkeit
Resonanzfrequenz unbelastet X / Y / Z 700
Resonanzfrequenz mit 30 g Last X / Y /
Z
Resonanzfrequenz mit 100 g Last X / Y
/ Z
Druck-/Zugbelastbarkeit
P-616 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
P-616.3C
X, Y, Z
100 / Achse
0,3
0,4
0,03
<10
<15
Kapazitive Sensoren
0,5
380
250
15
PZ268D
Einheit Toleranz
µm +20 % / -0 %
µm +20 % / -0 %
nm typ.
nm typ.
% typ.
nm typ.
nm typ.
N/µm ±10 %
Hz ±10 %
Hz ±20 %
Hz ±20 %
N max.
Version: 1.1.0 41