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3 Produktbeschreibung
Ein Flexure ist ein haft- und gleitreibungsfreies Element, das auf der elastischen Deformation
(Biegung) eines Festkörpers (z. B. Stahl) basiert und völlig ohne rollende oder gleitende Teile
auskommt. Flexureelemente zeigen eine hohe Steifigkeit und Belastbarkeit.
Festkörpergelenksführungen sind wartungs- und verschleißfrei. Sie sind 100 %
vakuumkompatibel, arbeiten in einem weiten Temperaturbereich und benötigen keinerlei
Schmierstoffe.
3.6.3
Kapazitive Sensoren
Kapazitive Sensoren messen die Position unmittelbar an der Bewegungsplattform
(Direktmetrologie) und arbeiten berührungslos. Weder Reibung noch Hysterese beeinträchtigen
die Bewegung, wodurch in Kombination mit der hohen Positionsauflösung ausgezeichnete
Linearitätswerte erreicht werden. Kapazitive Sensoren erreichen in Verbindung mit geeigneter
Elektronik die beste Auflösung, Stabilität und Bandbreite.
P-616 NanoCube® XYZ-Nanopositionierer
PZ268D
Version: 1.1.0
13
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