Betrieb; Betriebsspannung; Betriebsarten - Eltex R120 Betriebsanleitung

Abb. 9:
Arbeitsbereich der
Elektrode in
Abhängigkeit von
Spannung und
Abstand
BA-de-3030-1912_R120 / R121A

4. Betrieb

4.1 Betriebsspannung

Die Aufladeelektrode wird bei einer Hochspannung von 5...15 kV, bei aus-
reichender Isolation bis 60 kV, betrieben. Dabei ist zu beachten, dass die
richtigen Abstände der Elektrode zur Substratoberfläche eingehalten wer-
den. Bei 15 kV Betriebsspannung sollte ein Abstand von 10 mm nicht
unterschritten werden. Der Arbeitsbereich ist in Abb. 9 dargestellt.

4.2 Betriebsarten

Die Elektroden werden in der Regel mit konstanter Spannung betrieben,
d.h. die Hochspannung am Generator wird fest eingestellt. Diese
Betriebsart wird bei allen Applikationen empfohlen, bei denen die aufzula-
denden Substrate hohe Eigenwiderstände aufweisen und keine Kriech-
ströme durch Verschmutzungen zu erwarten sind.
Der Strom darf dabei 1 mA pro Meter aktiver Elektrodenlänge nicht über-
schreiten.
kV
15
10
5
0
5 10
Wird eine Elektrode in einer Anwendung eingesetzt, bei der mit einer star-
ken Verschmutzung zu rechnen ist, sollte die Betriebsart Stromkonstant
am Generator gewählt werden. Damit kann verhindert werden, dass über
eventuell auftretende Kriechströme Energie in nicht kontrollierter Höhe
abfließt und die Elektrode oder das Montagematerial beschädigt werden.
Der minimale Arbeitsstrom muss für einen stromstabilen Arbeitspunkt
>0,5 mA betragen.
15 20 mm
17
Beispiel:
Aktive Elektrodenlänge ist
515 mm,
maximal zulässiger Strom:
1 mA/m x 0,515 m =
0,515 mA.