Abb. 6:
Anschluss des
Hochspannungs-
kabels
Abb. 7:
Einsetzen des Clip
3.5 Anschluss des Hochspannungskabels an die Generatoren
KNH18, KNH34 / KNH64, KNH35 / KNH65, an die Verteilerbox
KNHV3 / KNHV6 und an die Elektrode R121A
Der Anschluss des Hochspannungskabels der Aufladeelektroden an die
Hochspannungsgeneratoren KNH18, KNH34 / KNH35 bzw. KNH64 /
KNH65 mit max. 25 kV, max. 30 kV bzw. max. 60 kV ist in den Betriebsan-
leitungen der entsprechenden Generatoren beschrieben.
Warnung!
Stromschlaggefahr!
Die Arbeiten dürfen nur durchgeführt werden wenn:
• die Versorgungsspannung zum Generator unterbrochen wurde,
• die Maschine still steht, da die Elektroden bei laufender Substratbahn
Ladung aufnehmen.
Vorgehensweise:
Die Elektrode wird über das vorkonfektionierte Hochspannungskabel
angeschlossen. Die Hochspannungskabel werden bis zum Anschlag in
die Buchse eingeführt. Anschließend wird der Adapter mit dem Clip in der
Buchse gesichert (siehe Abb. 6).
Kabel ohne Adapter haben eine farbige Markierung auf dem Schutz-
schlauch. Diese Markierung muss bündig mit der Außenkante der Ver-
schraubung abschließen.
Hinweis: Der Clip muss vollständig eingesetzt sein.
richtig
falsch
14
BA-de-3030-1912_R120 / R121A