Inhaltsverzeichnis
Werbung
87-900-080-01 (D)
APRIL 2006
Downloaded from
www.Manualslib.com
MidiVac
Controller
Model 929-5000
Model 929-5001
Model 929-5002
Model 929-5003
Model 929-5004
Model 929-5005
Model 929-5006
Model 929-5007
manuals search engine
vacuum technologies
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(GB) INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Varian MidiVac 929-5000
Inhaltszusammenfassung für Varian MidiVac 929-5000
- Seite 1 vacuum technologies MidiVac MANUALE DI ISTRUZIONI Controller BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Model 929-5000 (GB) INSTRUCTION MANUAL Model 929-5001 Model 929-5002 Model 929-5003 Model 929-5004 Model 929-5005 Model 929-5006 Model 929-5007 87-900-080-01 (D) APRIL 2006 Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
- Seite 2 MidiVac Controller Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
- Seite 3 Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
- Seite 4 Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ....................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ....................7 MODE D’EMPLOI ......................13 INSTRUCTIONS FOR USE ....................19 TECHNICAL INFORMATION ....................25 MIDIVAC CONTROLLER DESCRIPTION .....................25 MIDIVAC CONTROLLER SPECIFICATION ..................27 MIDIVAC CONTROLLER OUTLINE ......................27 PUMP CONNECTION ..........................28 REMOTE I/O CONNECTOR ........................28 USE ................................30 Setting Mode .............................30 Operating Mode..........................30 PRESSURE VS CURRENT DIAGRAMS ....................30 ACCESSORIES AND SPARE PARTS....................30... -
Seite 6: Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata Il controller MidiVac della Varian è un controller per le professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente pompe ioniche. L'unità può essere preconfigurata in il presente manuale di istruzioni ed ogni altra fabbrica a seconda delle necessità del cliente, o... -
Seite 7: Preparazione Per L'installazione
ISTRUZIONI PER L’USO PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE Il controller viene fornito in un imballo protettivo ATTENZIONE! speciale; se si presentano segni di danni, che Il controller può essere usato sia come unità da tavolo potrebbero essersi verificati durante il trasporto, sia come modulo a rack, in ogni caso deve essere contattare l'ufficio vendite locale. - Seite 8 ISTRUZIONI PER L’USO Controlli ed Indicatori del Pannello Frontale del MidiVac In questo paragrafo sono riportate le principali La figura e la tabella della pagina seguente illustrano il procedure operative. Per ulteriori dettagli e per pannello frontale del controller MidiVac con il significato procedure che coinvolgono collegamenti o particolari e la funzione dei relativi controlli e degli indicatori.
- Seite 9 ISTRUZIONI PER L’USO RIF. DESCRIZIONE DESCRIZIONE con (12) su OFF con (12) su ON Freccia in giù Quando premuto consente di diminuire il valore Cambia il valore della tensione massima in uscita della funzione selezionata con il pulsante (16). dal controller da 7 kV a 5 kV e da 5 kV a 3 kV. Freccia in su Quando premuto consente di aumentare il valore Cambia il valore della tensione massima in uscita...
-
Seite 10: Istruzioni Per L'uso
è di spegnimento, per cui per autorizzato. In caso di guasto è possibile usufruire del accendere l’alta tensione occorre passare in modo servizio di riparazione Varian o del "Varian advance “Local” premendo il tasto “Menu” del pannello frontale, exchange service", che permette di ottenere un oppure inviare il comando di accensione dell’alta... -
Seite 11: Messaggi Di Errore
Guasto generico dei circuiti di controllo Spegnere e riaccendere il controller. Se l’errore dell’alta tensione. si ripresenta chiamare l’assistenza Varian. Err 5 L’interlock del cavo dell’alta tensione è aperto. Se si dispone di un cavo alta tensione con il filo di interlock, verificare che il connettore dal lato della pompa sia inserito correttamente. -
Seite 12: Allgemeines
GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES BESCHREIBUNG DES CONTROLLERS Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Der MidiVac-Controller der Firma Varian ist ein Gerät Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie zur Steuerung von Ionenpumpen. Das Gerät kann im alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen Werk nach den Angaben des Kunden voreingestellt genau lesen. -
Seite 13: Vor Der Installation
GEBRAUCHSANLEITUNG VOR DER INSTALLATION Controller wird einer speziellen ACHTUNG! Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Der Controller kann auf einen Tisch oder ein Gestell Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen montiert werden. beiden Fällen muß eine Verkaufsstelle gemeldet werden. ungehinderte Zirkulation der Kühlluft durch die im Gehäuse vorne und unten eingelassen Luftöffnungen Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit der gewährleistet sein. - Seite 14 GEBRAUCHSANLEITUNG GEBRAUCH Schalter und Anzeigen auf der vorderen Schalttafel des MidiVac-Controllers diesem Kapitel sind wichtigsten Seite abgebildeten Tabelle In der auf der nachfolgenden Betriebsvorgänge aufgeführt. Für weitere Hinweise wird die vordere Schalttafel des MidiVac-Controllers bezüglich Anschluß und Montage des bestellbaren gezeigt;...
- Seite 15 GEBRAUCHSANLEITUNG POS. BEZEICHNUNG BEZEICHNUNG Schalter (12) auf OFF Schalter (12) auf ON Pfeil nach oben Ermöglicht die Reduzierung des Wertes der über Reduzierung Wertes maximalen den Schalter (16) selektionierten Funktion Ausgangsspannung des Controllers von 7 kV auf 5 kV bzw. von 5 kV auf 3 kV.
-
Seite 16: Bedienung
Hochspannung die Umschaltung auf den Modus Fachpersonal ausgeführt werden. Bei Störungen kann "Local" mittels der Taste "Menü" am Frontpaneel der Varian-Reparaturdienst bzw. der "Varian advanced erforderlich ist oder der Steuerbefehl zur Zuschaltung exchange service" in Anspruch genommen werden, der der Hochspannung per Fernsteuerung über den für den Austausch defekter Controller sorgt. -
Seite 17: Fehlermeldungen
Anzeige Pressure) der Pumpe. erscheint die Fehlermeldung “Err 1”. Schalten Sie den Controller aus und anschließend wieder ein. Sollte die Störung weiterhin vorliegen, so wenden Sie sich an den Varian-Kundendienst. 87-900-080-01 (D) Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine... -
Seite 18: Indications Generales
INDICATIONS GENERALES DESCRIPTION DU CONTROLEUR Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation Le contrôleur MidiVac de la société Varian est un professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire contrôleur pour les pompes ioniques. Cette unité peut attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute être préconfigurée en usine selon les exigences du... -
Seite 19: Preparation Pour L'installation
MODE D'EMPLOI PREPARATION POUR L'INSTALLATION Le contrôleur est livré dans un emballage de protection ATTENTION! spécial; si l'on constate des marques de dommages Le contrôleur peut être utilisé aussi bien comme unité pouvant s'être produits pendant le transport, contacter de table que comme module à rack. Il doit, quoi qu'il en aussitôt le bureau de vente local. - Seite 20 MODE D'EMPLOI UTILISATION Commandes et Diodes du Panneau Frontal du MidiVac Ce paragraphe reporte les principales procédures La figure ci-après présente le panneau frontal du opérationnelles. Pour tout autre détail et pour les contrôleur MidiVac ainsi que la signification et la procédures concernant connexions...
- Seite 21 MODE D'EMPLOI DESCRIPTION REF. DESCRIPTION Avec (12) sur OFF Avec (12) sur ON Flèche en bas Permet de diminuer la valeur de la fonction Modifie la valeur de la tension maximum à la sortie sélectionnée à l'aide de la touche (16). du contrôleur de 7 kV à...
-
Seite 22: Mode D'emploi
En cas de panne, il est possible de s'adresser au de la dernière commande (allumage ou coupure) Service de réparation Varian ou au "Varian advance donnée à l’ordinateur à distance. La condition initiale exchange service" qui permet d'obtenir un contrôleur pré-configurée en usine est d’arrêt et pour allumer la... -
Seite 23: Messages D'erreur
La pression dans la pompe est trop élevée. la pompe. Eteindre et rallumer la haute tension. Si l'erreur persiste, contacter service assistance Varian. Le contrôller a coupé la haute tension suite à Sélectionner mode fonctionnement Err 2 l'intervention du "Protect". -
Seite 24: General Information
Varian before operating the equipment. option cards relevant to the serial communication and the Set Point function. Varian will not be responsible for an events caused by non-compliance operational procedures,... -
Seite 25: Preparation For Installation
INSTRUCTIONS FOR USE PREPARATION FOR INSTALLATION The controller is supplied in a special protective CAUTION! packing. If this shows signs of damage which may have The controller can be used as a bench unit or as a rack occurred during transport, contact your local sales module, but it must be positioned so that free air can office. - Seite 26 INSTRUCTIONS FOR USE MidiVac Front Panel Controls and Indicators The figure and the table of the following page illustrate This paragraph describes the fundamental operating the MidiVac front panel controls and indicators with procedures. Detailed information operating relevant description and function. procedures that involve optional connections or options are supplied in the paragraph “USE”...
- Seite 27 INSTRUCTIONS FOR USE DESCRIPTION REF. DESCRIPTION with (12) set to OFF with (12) set to ON Downwards arrow When pressed, it decreases the value of the When pressed it changes the maximum output function selected by means of the (16) pushbutton. voltage from 7 kV to 5 kV and from 5 kV to 3 kV.
-
Seite 28: Instructions For Use
When a on, the high voltage signal will depend on the last fault has occurred it is possible to use the Varian repair command (on or off) from the host computer. The initial service. -
Seite 29: Error Messages
The pump pressure is too high. Improve the pump roughing pressure. Switch off and on again the high voltage. Should the error still be present, call the Varian offices. Err 2 The controller has switched off the High Select the “Start”... -
Seite 30: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION MIDIVAC CONTROLLER DESCRIPTION The MidiVac Controller base is available in eight • Model 929-5003 set for 230 Vac positive polarity and versions which differ in the factory set input voltage, the single HV output connector polarity and the number of High Voltage output •... - Seite 31 TECHNICAL INFORMATION It consist of various boards. The following figure shows Microprocessor board (located on front panel: it is the minimum configuration. based on a single chip microprocessor with a large input/output capability. It manages commands coming from the front panel keyboard and drives the front panel display and the high voltage output.
-
Seite 32: Midivac Controller Specification
TECHNICAL INFORMATION MIDIVAC CONTROLLER SPECIFICATION Operating: Input: − Temperature 0 to + 45 °C − Voltage 90 to 130 Vac - 1 phase 90% maximum non − Humidity 180 to 265 Vac - 1 phase (factory preset) condensing 47 to 63 Hz −... -
Seite 33: Pump Connection
TECHNICAL INFORMATION The signals available on the connector pins are PUMP CONNECTION detailed in the following table. The pump is connected to the controller rear panel via HV connector by a coaxial high voltage cable assembly DESCRIPTION (cable to be separately ordered). ON/OFF status (normally open) ON/OFF status (normally closed) Fault signal (normally open) - Seite 34 TECHNICAL INFORMATION Recorder Output Diagram from 0 to 5 V Recorder Output Diagram from 0 to 0.1 V 87-900-080-01 (D) Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
-
Seite 35: Use
TECHNICAL INFORMATION Operating Mode During the normal operating condition the only available The controller can be used in two different modes: operations are: • setting mode Switching on/off of the high voltage • operating mode Selection of the value (voltage or current) to be displayed The first mode enables the user to set some operating parameters, the second one is the normal operating... - Seite 36 TECHNICAL INFORMATION VacIon Plus 500 Pressure Vs Current Diagram VacIon Plus 300 Pressure Vs Current Diagram 87-900-080-01 (D) Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
- Seite 37 TECHNICAL INFORMATION VacIon Plus 150 Pressure vs Current Diagram VacIon Plus 75 Pressure vs Current Diagram 87-900-080-01 (D) Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
- Seite 38 TECHNICAL INFORMATION VacIon Plus 55 Pressure Vs Current Diagram VacIon Plus 40 Pressure Vs Current Diagram 87-900-080-01 (D) Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
- Seite 39 TECHNICAL INFORMATION VacIon Plus 25 Pressure Vs Current Diagram VacIon Plus 20 Pressure Vs Current Diagram 87-900-080-01 (D) Downloaded from www.Manualslib.com manuals search engine...
-
Seite 40: Customer Information
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. - Seite 41 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 42 Toll Free # 1 (800) 882 7426 Tel: 00 800 234 234 00 vtt.technical.support@varianinc.com China Mexico Varian Technologies - Beijing Varian, S. de R.L. de C.V. Rm 1648 Central Tower South Wing Concepcion Beistegui No 109 China Beijing Junefield Plaza Col Del Valle No.