Használat - Agilent Technologies TV 902 Bedienungshandbuch

12 Felhasználói Kézikönyv
Használat
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. A
rendszert, az üzemeltetés megkezdése előtt, minden elektromos és
pneumatikus csatlakozásra kösse rá. A vákuumkamra esetleges
felmelegedésekor a bemeneti karimánál mért hőmérséklet nem
haladhatja meg a 80 °C-ot.
VESZÉLY! Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
Kerülje a turbószivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben.
FIGYELEM!
A csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes
levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú átlevegőztetéséhez. A bemeneti
nyomásnak, a megfelelő bemenetnél mérve, 2 barnál kisebbnek kell lennie (a
légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk
egy különleges bemenettel vannak felszerelve, melyen keresztül közömbös
gáz (pl. N2, Ar) kell a szivattyúba áramoltatni, hogy megvédjük a csapágyakat
(lásd „Műszaki információ" c. függelék).
VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!
178/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)