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Edwards EXDC series Betriebsanleitung Seite 7

Turbomolekularpumpen-antriebsmodule
Inhaltsverzeichnis

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1. Gewindestift
2. Kühlrippen
3. Kabel für Logik-Schnittstelle
4. Phasen-LEDs (rot)
5. TMP-Normal-LED (grün)
6. Anschlusssperre
7. Entsperrte Position
8. Gesperrte Position
9. EXT-Pumpenanschluss
© Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abbildung 1 - Das EXDC
D396-40-882 Issue K
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Diese Anleitung auch für:

Exdc160Exdc80

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