Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Betrieb; Anlauf; Betrieb Mit Hohem Einlassdruck Oder Hoher Einlasstemperatur; Reguläre Abschaltung - Edwards EXDC series Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpen-antriebsmodule
Inhaltsverzeichnis

Werbung

4

Betrieb

Trennen Sie das EXDC nicht von der EXT-Pumpe, wenn diese in Betrieb ist. Bei maximaler Drehzahl
generiert der EXT-Pumpenmotor 48 V RMS, zugänglich an der elektrischen Verbindung der Pumpe
mit dem Controller; dies birgt die Gefahr von Verletzungen durch Stromschläge.
Trennen Sie das EXDC nicht von der EXT-Pumpe (oder verbinden es erneut damit), wenn die Stromversorgung
zum EXDC eingeschaltet ist oder wenn die EXT-Pumpe rotiert. Andernfalls kann dies zu Beschädigungen des
EXDC führen.
4.1

Anlauf

Hinweis:
Sie können die Vorvakuumpumpe und die EXT-Pumpe gleichzeitig starten; die EXT-Pumpe wird dadurch
nicht beschädigt und kann als wirksames Baffle dienen. Wenn der Systemdruck jedoch zu hoch bleibt,
erreicht die EXT-Pumpe möglicherweise nicht 80 % der maximalen Drehzahl und das TMP-Normal-
Statusausgangssignal wird nicht gesetzt.
Gehen Sie zum Start Ihres Systems wie folgt vor. Bei dieser Vorgehensweise wird davon ausgegangen, dass Sie das
Belüftungsventil und die Vorvakuumpumpe manuell bedienen.
1. Schalten Sie die Stromversorgung zum EXDC ein.
2. Schließen Sie das Belüftungsventil (sofern installiert) und starten Sie die Vorvakuumpumpe.
3. Starten Sie die EXT-Pumpe; schließen Sie den Start/Stopp-Steuereingang am Anschluss der Logik-Schnittstelle.
4.2

Betrieb mit hohem Einlassdruck oder hoher Einlasstemperatur

Wenn der Einlassdruck der EXT-Pumpe steigt, erhöht sich die Stromversorgung vom EXDC zum Pumpenmotors, um der
Reibungsbelastung des Gases entgegenzuwirken. Die Pumpendrehzahl bleibt konstant, bis der Leistungs-Spitzenwert
des EXDC erreicht wird; jenseits dieses Wertes beginnt die Drehzahl der Pumpe zurückzugehen.
Temperaturfühler im EXDC und der EXT-Pumpe werden vom EXDC überwacht. Wenn das EXDC feststellt, dass die
Pumpentemperatur oder seine eigene Temperatur zu hoch ist, wird die Energieversorgung zum Pumpenmotor
gedrosselt; die Pumpe kann daher unter Umständen die maximale Drehzahl nicht halten, wenn sie dabei zu heiß wird.
Den maximal zulässigen Einlassdruck und den Temperaturbereich der Pumpe finden Sie in der Betriebsanleitung der
EXT-Pumpe und die maximale Ausgangsenergie des EXDC finden Sie unter
4.3
Reguläre Abschaltung
Gehen Sie zum Herunterfahren Ihres Systems wie folgt vor. Bei dieser Vorgehensweise wird davon ausgegangen,
dass Sie das Belüftungsventil und die Vorvakuumpumpe manuell bedienen. Einzelheiten zur maximal zulässigen
Belüftungsrate finden Sie in der Betriebsanleitung der EXT-Pumpe.
1. Wählen Sie Stopp: Öffnen Sie den Start/Stopp-Steuereingang am Anschluss der Logik-Schnittstelle.
2. Öffnen Sie das Belüftungsventil, nachdem die Drehzahl der EXT-Pumpe auf unter 50 % der maximalen Drehzahl
gesunken ist.
3. Schalten Sie die Vorvakuumpumpe aus.
© Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
Abschnitt
D396-40-882 Issue K
2.3.
Seite 13

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Diese Anleitung auch für:

Exdc160Exdc80

Inhaltsverzeichnis