Edwards EXDC series Betriebsanleitung
Turbomolekularpumpen-antriebsmodule
Inhaltszusammenfassung für Edwards EXDC series
- Seite 1 D396-40-882 Issue K Betriebsanleitung EXDC Turbomolekularpumpen-Antriebsmodule Bestell- Bestell- Beschreibung Beschreibung nummer nummer EXDC80-Turbomolekularpumpen-Antriebsmodul D396-40-000 EXDC160-Turbomolekularpumpen-Antriebsmodul D396-41-000 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards Limited Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte,... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Lagerung und Entsorgung ..............17 Lagerung ......................... 17 Entsorgung ....................... 17 Index ....................19 Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen. © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 4: Titel Der Publikation
Turbomolekularpumpen EXT70 und EXT250 B722-01-880 Turbomolekularpumpen EXT351 und EXT501 B727-20-880 Compound-Molekularpumpen EXT70H, EXT70Hi, EXT250H und EXT250Hi B740-01-880 Compound-Molekularpumpen EXT255H und EXT255Hi B753-03-880 Seite ii © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 5: Einführung
Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der Turbomolekularpumpen- Antriebsmodule EXDC80 und EXDC160 (weiterhin abgekürzt als EXDC) von Edwards. Verwenden Sie das EXDC nur so, wie in der vorliegenden Betriebsanleitung beschrieben. Andernfalls kann der vom EXDC gebotene Schutz beeinträchtigt werden;... -
Seite 6: Logik-Schnittstelle
Diese grüne LED leuchtet, wenn die EXT-Pumpe mit mindestens 80 % der maximalen Drehzahl läuft. Sie können diese LEDs als Hilfsmittel für die Fehlersuche verwenden; siehe Abschnitt 5.2. Seite 2 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 7 2. Kühlrippen 3. Kabel für Logik-Schnittstelle 4. Phasen-LEDs (rot) 5. TMP-Normal-LED (grün) 6. Anschlusssperre 7. Entsperrte Position 8. Gesperrte Position 9. EXT-Pumpenanschluss © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 8 D396-40-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich leer. Seite 4 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 9: Technische Daten
Weg (≤22 kΩ) zwischen 0 V und Erde bietet. Maximale kontinuierliche Ausgangsleistung EXDC80 80 V 80 W EXDC160 80 V 160 W © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 10 D396-40-882 Issue K Abbildung 2 - Abmessungen (mm) A. Kabelbiegeradius (≥30) Seite 6 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 11 < 80 % Aus (angehoben auf 15 V DC) ≥ 80 % An (< 0,8 V DC) Nennwert 20 mA Nicht mitgeliefert © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
- Seite 12 D396-40-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich leer. Seite 8 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 13: Installation
3. Drehen Sie die Sperre (6) vollständig im Uhrzeigersinn (in Richtung 8), um die Anschlüsse zu sperren und das EXDC an seiner Position zu sichern. © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 14: Elektrische Anschlüsse
Anschlussteils Ihrer Logik-Schnittstelle an. Sie haben die Möglichkeit, über diesen Ausgang andere Einrichtungen in Ihrem Pumpsystem zu steuern. Der Ausgang kann ein Relais mit kleiner Leistung mit einem Spulen-Nennwert von maximal 24 V ansteuern. Seite 10 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 15 B. Gegenstück für Stecker für EXDC-Logik-Schnittstelle 1. Start/Stopp-Schalter 4. DC-Relais (optional) 2. Stromversorgung 5. Relais-Stromversorgung (optional) 3. Hintere EMV-Unterdrückungsdiode 6. Voltmeter (optional) © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 16: Anschließen Der Stromversorgung
Bauen Sie geeignete Sicherungen oder Strombegrenzungsvorrichtungen in die nominellen 80-V-Leitungen ein; siehe Abschnitt 2 für die Nennwerte der Sicherungen/Strombegrenzungsvorrichtungen. Bauen Sie einen Isolierungsschalter ein. Seite 12 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 17: Betrieb
2. Öffnen Sie das Belüftungsventil, nachdem die Drehzahl der EXT-Pumpe auf unter 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist. 3. Schalten Sie die Vorvakuumpumpe aus. © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 18: Abschaltung Aufgrund Zu Niedriger Oder Zu Hoher Drehzahl Der Pumpe
Sie können einen geeigneten DC/DC-Konverter an die 80-V-Versorgungspins (7, 8) am Gegenstück der Logik- Schnittstelle anschließen; die Spannung auf diesen Pins wird während eines Stromausfalls auf 50 V DC gehalten. Seite 14 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. -
Seite 19: Wartung
Wenn alle vorherigen Prüf- und Abhilfemaßnahmen vorgenommen wurden und das Symptom bestehen bleibt, ist das EXDC möglicherweise defekt: Wenden Sie sich an Ihren Händler oder an Edwards. © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 20 D396-40-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich leer. Seite 16 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 21: Lagerung Und Entsorgung
Abschnitt 3 dieser Betriebsanleitung. Entsorgung Entsorgen Sie das EXDC und alle Bauteile sicher unter Einhaltung aller örtlichen und landesweit gültigen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 22 D396-40-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich leer. Seite 18 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
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Seite 23: Index
Lagerung und Entsorgung ....... 17 Logik-Schnittstelle .........2 Mechanische Daten ........5 Pin-Belegung am Anschluss der Logik-Schnittstelle ........10 Reguläre Abschaltung ........13 Technische Daten ..........5 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited. - Seite 24 D396-40-882 Issue K Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 20 © Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.