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Edwards EXDC series Betriebsanleitung Seite 11

Turbomolekularpumpen-antriebsmodule
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Logik-Schnittstelle
Anschluss-Gegenstück*
EXDC-Stromversorgung
Zulässige Nennspannung
Unterspannungssperrwert
Maximale Spannungswelligkeit
Sicherung (oder gleichwertiges
Spannungsbegrenzungsgerät)
Maximaler Eingangsstrom
Start/Stopp-Steuereingangssignal
Anlaufsteuerungsspannung:
niedrig (geschlossen)
Stoppsteuerungsspannung:
hoch (geöffnet)
Drehzahl Analogausgang
Ausgangsspannung
Ausgangsimpedanz
Mindestlast
TMP-Normal-Statusausgang
Typ
< 80 %
≥ 80 %
Nennwert
*
Nicht mitgeliefert
© Edwards Limited 2015. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
9-Wege D-Typ Stecker
70 bis 85 V DC
> 63 V
2 Veff
3,15 A Typ „T", mit IEC-Zulassung oder
3,2 A zeitverzögerte Sicherung, mit UL/CSA-Zulassung
1,1 A (EXDC80)
2,2 A (EXDC160)
< 0,8 V DC
4 bis 24 V DC
0 bis +10 V DC (direkt proportional zur Pumpendrehzahl,
d. h. 0 bis 10 V ≅ 0 bis 100 % der Pumpendrehzahl)
0,1 Ω
≥5 kΩ
Transistor mit offenem Kollektor
Aus (angehoben auf 15 V DC)
An (< 0,8 V DC)
20 mA
D396-40-882 Issue K
Seite 7

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Diese Anleitung auch für:

Exdc160Exdc80

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