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KALIBRIERUNG DER ACHSEN
Ausdruck der Positionsunsicherheit
Typischer Verlauf der
Zur Erzielung der spezifizierten Positionierunsicherheit von
Positionsunsicherheit
3µm/m ist es erforderlich, den Positionierfehler in der Achse,
Tatsächlicher
in der das Wegmeßsystem RG2 eingesetzt wird, elektronisch
Verlauf ohne
Kompensation
zu kompensieren. Beim Wegmeßsystem RG2 erfolgt eine
softwaremäßige Kompensation durch einen Korrekturfaktor
Verfahrweg
im kundenspezifischen Interface. Diese Kalibrierung sollte
frühestens 24 Stunden nach der vollständigen Installation des
A
Wegmeßsystems (einschließlich der Montage der
Endklemmen) erfolgen. Damit wird sichergestellt, daß jegliche
Mit linearer Kompensation
verbliebene Restspannung im Maßband sich ausgleichen
kann und die Klebeverbindungen an den Enden des
Maßbandes vollständig ausgehärtet sind.
Üblicherweise wird zur Kalibrierung ein Laserinterferometer,
ein Präzisionsmaßstab, ein Stufenendmaß oder ein Prüfstück
(grid plate) eingesetzt. Die durch das Wegmeßsystem RG2
Zusätzliche Korrektur durch
angezeigte Länge wird mit dem Längennormal verglichen und
Interpolation
ein Ausdruck der Positionierabweichung erstellt (siehe Bild 6
oben). Eine einfache Längenkompensation erfolgt durch lin-
eare Kompensation. Dabei wird über den gesamten
Verfahrweg ein einziger Korrekturfaktor nach dem Prinzip der
kleinsten Fehlerquadrate ermittelt. Diese Annäherung kann
noch weiter verbessert werden, in dem die Achse in mehrere
gleich große Strecken zerlegt wird und eine Kompensation für
jeden einzelnen Abschnitt erfolgt (nichtlineare Kompensation).
Bild 6: Lineare Fehlerkompensation und Fehlerinterpolation
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