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Messregion zeichnen und Bewertungskriterien spezifizieren
Elementgröße und Vergleichsabstand
Bildschirm zur Spezifikation der Einstellungen
Scn 0 = SET = 0. Defect (Line)
Region
Ca
Element size (Elementgröße)
: [10]
Compare pitch
Defect
Density Max.
Density Min.
Messergebnisse für das angezeigte Bild.
Verwenden Sie diese Werte als Sollwerte für das Festsetzen der
oberen und unteren Grenze.
Verfahren
3-4-7
Density Average (Durchschnittlicher Grauwert)
Der Grauwert (0 bis 255) wird für jedes Pixel ermittelt und die
Messungen werden basierend auf den durchschnittlichen Grau-
wert durchgeführt.
Element size (Elementgröße)
Compare pitch
(Vergleichsabstand)
:[1}
:80 [30]
:80 [255]
:50 [0]
End
e
1
Wählen Sie Conditions .
1
2
Legen Sie die Angaben fest.
Einzelheiten zu den Eingabewerten finden Sie auf der fol-
genden Seite:
3
Wählen Sie End aus, um die Einstellungen einzugeben.
)
4 bis 80 (Vorgabeeinstellung: 10)
1 bis 6 (Vorgabeeinstellung: 1)
Fehlerbewertungskriterien. Über-
schreitet der Fehler diesen Wert,
ist die Beurteilung NG. (0 bis 255)
Liegen die größten und kleinsten
Grauwerte in der inspizierten Re-
gion innerhalb der unteren und
oberen Grenze, ist die Beurteilung
OK. (0 bis 255)
S. 31
Abschnitt
3-4
113
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Kapitel
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