Inhaltsverzeichnis
Werbung
Messregion zeichnen und Bewertungskriterien spezifizieren
2
Spezifikation von Oberflächendefekte–Erfassungseinstellun-
gen und Bewertungskriterien
Nach dem Zeichnen der Messregion werden kleine Rechtecke
innerhalb der Messregion erstellt. Diese Rechtecke heißen "Ele-
mente". Der Grauwert wird für jedes Element errechnet und die-
ser Grauwert wird mit dem Grauwert der umliegenden Elemente
verglichen. Das Maß der Grauwertdispersion wird dazu verwen-
det, Oberflächendefekte zu erfassen. Die Erfassungseinstellun-
gen "Element size(Elementgröße)" und "Compare pitch(Ver-
gleichs–abstand)" (die Anzahl von Elementen zwischen einem
vorgegebenen Element und dem Element, mit dem es verglei-
chen wird) können spezifiziert werden.
Fehlerberechnungsverfahren
Element
Vergleich mit dem Element in der
gleichen Reihe.
Der Defekt wird für alle Elemente bestimmt. Überschreitet der größte Fehler die
Bewertungskriterien, wird die Messregion als fehlerhaft angesehen. Führen
Sie, bei der Festlegung der Bewertungskriterien, Messungen verschiedener
Muster durch und spezifizieren Sie die Bewertungskriterien basierend auf den
Defekten dieser Muster.
112
Vergleich mit dem darüberbefindlichen
Element.
Element
Der größere dieser zwei Werte ent-
A
spricht dem Defekt von Element A.
Abschnitt
Messregion
3-4
Werbung
Kapitel
Inhaltsverzeichnis
