Laserscale BS75A-R Handbuch Seite 16

5-7. 原点検出位置
BS75A-30R/RS
BS75A-60R/RS
BS75A-110R/RS
BS75A-160R/RS
BS75A-210R/RS
BS75A-260R/RS
BS75A-310R/RS
BS75A-360R/RS
BS75A-410R/RS
14
中央
50 × LN 50 × RN
L
スケール全長L (mm)
原点数
66
中央 1
96
中央 1
146
2
196
3
246
4
296
5
346
6
396
6
446
7
6. 仕様
項
有 効
最 大 測 定 長
全
精 度 (20℃にて)
繰 返 精 度 (2σ)
も ど り 誤 差
位
原
繰 返 精 度
点
方
LN
RN
温 度 膨 張 係 数
― ―
使 用 温 度 範 囲
― ―
保 存 温 度 範 囲
1 ―
ケ ー ブ ル 長
1 1
光
2 1
検 出 方
2 2
3 2
3 2
付属品
3 3
基準プレート
スペーサ
スケールクランプ
六角穴付ボルト M4×8
六角穴付ボルト M5×40
平座金 (呼び4)
平座金 (呼び5)
ケーブルクランプ
小ネジ M4×8
原点マスクラベル
取扱説明書
精度表
目 BS75A-R/RS
長 30〜410 mm (9種類)
有効長＋10 mm (左右各5 mmずつ)
長 有効長＋36 mm
0.05＋0.2 L/100 µmp-p (RS)
0.1＋0.4 L/100 µmp-p (R)
L＝有効長 (mm)
0.05 µm (BD60接続時)
0.05 µm (BD60接続時)
置 中心および中心から左右へ50 mmごと
±0.1 µm（検出速度変動0.2mm/s以下）
向 片方向
−0.7×10 −6
10〜30℃ (結露不可)
−10〜50℃
3 m
源 半導体レーザ (インクリ, 原点各1)
式 回折格子走査式
有 効 長
30 60 110 160
1 1 1 1
0 0 2 2
1 2 3 3
4 6 8 8
2 2 2 2
4 6 8 8
2 2 2 2
1 1 1 1
1 1 1 1
5 5 5 5
1 1 1 1
1 1 1 1
℃ −1
210 260 310 360
410
1 1 1 1
1
2 2 2 4
4
3 4 4 5
5
8 10 10 12
12
2 2 2 2
2
8 10 10 12
12
2 2 2 2
2
1 1 1 1
1
1 1 1 1
1
5 5 5 10
10
1 1 1 1
1
1 1 1 1
1