Spectron FP4 Betriebsanleitung Seite 42

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Daraufhin erfolgt die Spülgasentfernung entweder durch das Entlasten des Druckes oder mithil-
fe eines Vakuumgenerators.
Diese Schritte wiederholen sich entsprechend der in der Systemkonfiguration eingestellten An-
zahl für den Spülzyklus.
Nach dem Spüldurchgängen ist zu bestätigen, dass der Spülzyklus abgeschlossen ist und die
Prozessgasquelle kann geöffnet werden.
Beachte: Ist eine Drucküberwachung und gleichzeitig ein Alarm (Leermeldung) auf Digitalein-
gang 1 oder Analogeingang 1 konfiguriert und das Prozessgasquellenventil ist nicht geöffnet ist,
so wird dieser Alarm aktiviert sobald mit OK bestätigt wird.
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Spectron Gas Control Systems GmbH
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